KE-2070.2080.QA表.Rev1.00c(C).pdf - 第31页
QA 表 ＮＯ． 6 (1/2) ＮＯ． 6 (2/2) 机 种 上下方向 左 认 所示的底座的 Y 认 部和 Ｙ 认 延 认 架的 认 合部的高低 上下方向高低差 ：１５μｍ以下 认 安装成１５μｍ以下。 Ｙ 认 后通道上下方向和左右方向的真直度 · 平行度，降低寿命。 １．Ｙ 认 后通道 认 坏，故障 ＣＤＥ ２．降低Ｙ 认 后通道寿命 ＣＤＥ ３．Ｙ 认 后通道 认 生 异 常声音 ＣＤＥ ４．Ｙ 认 后ｔ通道的真直 认 整，平行…
QA表
ＮＯ．
5 (1/2)
ＮＯ．
5 (2/2)
机种
认装认板开始移认 ：５０Ｎ以下
移认中的认认 ：１０Ｎ以下
移认中认没有松认，异常声音，振认。
※移认速度大认认２００ｍｍ／ｓｅｃ。
１．确认方法
用认簧秤等50N以下的力量开始向P方向拉认具认装认板。
另外，Ｘ架端的止认橡胶粘认部的２６．５ｍｍ到６７８ｍｍ的行程之认的力认认
认在１０Ｎ以下。
用手把认具认装认板在行程程度之认移认，确认ＬＭ认向部认没有异常声音
和振认（咕隆咕隆，比比）。
２．故障的认置方法
①．认松移认固定认具认装认板的螺
认，确认认部是否安装得认固。
②．确认２个ＬＭ认向器得平行度和真直度。
③．上述１、２没有认认认，确认ＬＭ认向器的球认认面和认内的球是否没有认痕等。
有关机械认作中的声音。
有关ＸＹ认的认定认认，认定量。
１．ＬＭ认向器的认作异常声音
２．ＬＭ认向器的磨认
３．认装精度认化
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【5】−5
内容
'06.09.20 新认
40000659 ＬＭ认向器Ｘ
日期
40000656 Ｘ认架
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
功能名称
Ｘ认移认认荷
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（３）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
斜醤喘薮廾遊医
夹具用贴装头板
QA表
ＮＯ．
6 (1/2)
ＮＯ．
6 (2/2)
机种
上下方向
左认所示的底座的Y认部和
Ｙ认延认架的认合部的高低
上下方向高低差 ：１５μｍ以下 认安装成１５μｍ以下。
Ｙ认后通道上下方向和左右方向的真直度·平行度，降低寿命。
１．Ｙ认后通道认坏，故障
ＣＤＥ
２．降低Ｙ认后通道寿命
ＣＤＥ
３．Ｙ认后通道认生异常声音
ＣＤＥ
４．Ｙ认后ｔ通道的真直认整，平行认整不良。
ＣＤＥ
ＣＤＥ
ＣＤＥ
ＮＯ ＣＤＥ
①
ＮＯ． 担当人
②
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
【5】−6
40016695
Y认延认机架R(E)
内容
40000702
Y认延认机架R(L)
'06.09.20 新认
40016694
Y认延认机架L(E)
日期
40000701
Y认延认机架L(L)
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认理认想故障（认认格认整认不良而认生的故障） 日期 内容
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
故障认生履认
认生认期
功能名称
Ｙ认延认机架认装（Ｌ尺寸机）
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸY装置（４）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
高低差15μm以
结合部
Y轴延长架
底架的Y轴部
QA表
ＮＯ．
7 (1/2)
ＮＯ．
7 (2/2)
机种
１．左认的后ｔ通道真直度
１−１．确认方法
①安装认了认置Ｉ型伸认的认具。
左认的Ｙ认后通道的真直度 ：２０μｍ以下 ②把认认表安装到后通道认，在认向器的两端认整I型伸认位置
左右的Ｙ认右ｔ通道平行度 ：２０μｍ以下 认认认表的直认”０”。
③在后通道的全行程，确认真直度认２０μｍ以下。
１−２．认整方法
①左认所示的底座的Y认部的认面加工面和后通道的距离在后通
道的前后两端距离，认整认１４．５ｍｍ。
②认松真直度认认格外的后通道螺认，把认道位置的真直度重新
认整到认２０μｍ以下，认认螺认。
Ｙ坐认有关Ｘ坐认位置的偏斜，影响Ｘ方向的认装精度。
会认Ｙ认
后通道增加认荷，Ｙ认后通道认坏，降低寿命。
１．认装精度（Ｘ方向）的认化
２．Ｙ方向移认认认生异常声音
３．Ｙ认后通道认坏，降低寿命。
ＮＯ
①
ＮＯ． 担当人
②
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
【5】−7
内容
40016696 后通道Ｙ（Ｅ） '06.09.20 新认
40000703 后通道Ｙ（Ｌ）
日期
40000700 后通道Ｙ
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
功能名称
Ｙ认后ｔ通道的真直·平行（１／２）
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（５）
确认方法及认整方法（故障认理方法）