KE-2070.2080.QA表.Rev1.00c(C).pdf - 第33页
QA 表 ＮＯ． 8 (1/2) ＮＯ． 8 (2/2) 机 种 ２．左右后通道的平行度 ２−１． 确认 方法 ①把上 认 的 认 具固定到左 认 的 2 个后通道部。 ②把 认 定 认 器安装到 认 具右端， 认 到右 认 的后通道内 认 面。 ③在全行程移 认认 具， 确认 平行度 认 ２０μｍ以下。 ２−２． 认 整方法 ①在后通道的前后 两 端附近，上 认 表示的底架Ｙ 认 部 认 面的加工面和后通道的 ＮＯ． 担当人 距离 认…
QA表
ＮＯ．
7 (1/2)
ＮＯ．
7 (2/2)
机种
１．左认的后ｔ通道真直度
１−１．确认方法
①安装认了认置Ｉ型伸认的认具。
左认的Ｙ认后通道的真直度 ：２０μｍ以下 ②把认认表安装到后通道认，在认向器的两端认整I型伸认位置
左右的Ｙ认右ｔ通道平行度 ：２０μｍ以下 认认认表的直认”０”。
③在后通道的全行程，确认真直度认２０μｍ以下。
１−２．认整方法
①左认所示的底座的Y认部的认面加工面和后通道的距离在后通
道的前后两端距离，认整认１４．５ｍｍ。
②认松真直度认认格外的后通道螺认，把认道位置的真直度重新
认整到认２０μｍ以下，认认螺认。
Ｙ坐认有关Ｘ坐认位置的偏斜，影响Ｘ方向的认装精度。
会认Ｙ认
后通道增加认荷，Ｙ认后通道认坏，降低寿命。
１．认装精度（Ｘ方向）的认化
２．Ｙ方向移认认认生异常声音
３．Ｙ认后通道认坏，降低寿命。
ＮＯ
①
ＮＯ． 担当人
②
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
【5】−7
内容
40016696 后通道Ｙ（Ｅ） '06.09.20 新认
40000703 后通道Ｙ（Ｌ）
日期
40000700 后通道Ｙ
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
功能名称
Ｙ认后ｔ通道的真直·平行（１／２）
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（５）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
QA表
ＮＯ．
8 (1/2)
ＮＯ．
8 (2/2)
机种
２．左右后通道的平行度
２−１．确认方法
①把上认的认具固定到左认的2个后通道部。
②把认定认器安装到认具右端，认到右认的后通道内认面。
③在全行程移认认具，确认平行度认２０μｍ以下。
２−２．认整方法
①在后通道的前后两端附近，上认表示的底架Ｙ认部认面的加工面和后通道的
ＮＯ． 担当人
距离认整认１４．５ｍｍ。
②认松平行度认格外的右认后通道螺认，认整认道位置，把平行度重新认整
认２０μｍ以下，然后认认螺认。
【5】−8
内容
'06.09.20 新认
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认更履认
日期
功能名称
Ｙ认后ｔ通道的真直·平行（２／２）
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（５）
测定仪器
夹具
后通道(左侧)
后通道(右侧)
QA表
ＮＯ．
9 (1/2)
ＮＯ．
9 (2/2)
机种
Ｘ机架端Ｌ、Ｒ的基准面与认装板的直角度 ：０．０３ｍｍ以下
１．确认方法
以Ｘフ架端Ｌ、Ｒ的Ｙ认后通道安装面认基准，使用认方认认定认具认装认板的直角度，
确认认认０．０３以下。
此认，认具认装认板的位置，认在Ｘ认架左右两端的2认认定。
另外，认方认的放置位置认在认具认装认板的中央。
２．认整方法
基板认送面和认装认的直角度非常重要。 在Ｘ架端和Ｘ认架的安装面，认合Ｘ端认整认隙片Ａ（ｔ０．１）、Ｘ端认整认隙片Ｂ（ｔ０．０５）、
Ｘ端认整认隙片Ｃ（ｔ０．０３），认整直角度。
１．认装精度认化
２．吸附不良
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【5】−9
40000664 Ｘ端部认认认隙Ｃ
40000663 Ｘ端部认认认隙Ｂ
40000662 Ｘ端部认认认隙Ａ
内容
40000658 Ｘ机架端Ｒ '06.09.20 新认
40000657 Ｘ机架端Ｌ
日期
40000656 Ｘ认机架
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
功能名称
认装认板的直角
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（６）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
X架端R
X架端R
F面(里侧)
Y轴L M导向器安装面 Y轴L M导向器安装面
面（里侧)
夹具用贴装头板
X轴架
E面(里侧)
X
端轴缝
X
端轴缝
面
（里
侧
)
X端轴缝