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MODEL TCM-3100J 981 1-001 XYテーブル部 XY T ABLE SECTION Fig. 6-5 基板検出レバー P .C.B. Detector Lever 1 2 3 4 5 6 6-1 10 11 12 21 22 23 24 25 26 26-1 30 31 32 27 28 29 7 8 9 TCM-3000E See Fig.6-4 Key No.1 See Fig.6-4 Key No.21 See…

MEMO

MODEL TCM-3100J
9811-001
XYテーブル部 XY TABLE SECTION
Fig. 6-5 基板検出レバー P.C.B. Detector Lever
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6-1
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TCM-3000E
See Fig.6-4
Key No.1
See Fig.6-4
Key No.21
See Fig.6-4
Key No.41

MODEL TCM-3100J
9811-001
6- 5
Key No. PART No. PART NAME Q'ty REMARKS
1 630 054 4398 PLATE 1 659J--03B-114
2 630 054 8938 SPRING,TORSION 1 659J--03B-116
3 630 054 8914 PLATE 1 659J--03B-118
4 630 000 8883 SET SCREW 1 M3X4 SET
5 630 054 4343 PLATE 1 659J--03B-120
6 630 004 1798 SENSOR,PHOTO 1 659J--03H-103
6 -1 630 000 0269 SENSOR,PHOTO(CONNECTOR) 1 659J--03H-021
7 411 088 9005 WASHER F 3X6X0.5 2 FWS3 F
8 411 086 4408 WASHER SPR 3 2 SW3 F
9 411 042 0703 SCR PAN 3X8 2 M3X8 PAN
10 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 4 FW3
11 411 141 2806 WASHER SPR 3 4 SW3
12 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 4 M3X10
21 630 054 4336 PLATE 1 659J--03B-113
22 630 054 4329 SPRING,TORSION 1 659J--03B-115
23 630 054 4312 PLATE 1 659J--03B-117
24 630 000 8883 SET SCREW 1 M3X4 SET
25 630 063 1425 PLATE 1 659J--03B-119
26 630 004 1798 SENSOR,PHOTO 1 659J--03H-103
26 -1 630 000 0269 SENSOR,PHOTO(CONNECTOR) 1 659J--03H-021
27 411 088 9005 WASHER F 3X6X0.5 2 FWS3 F
28 411 086 4408 WASHER SPR 3 2 SW3 F
29 411 040 6202 SCR PAN 3X10 2 M3X10 PAN
30 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 1 FW3
31 411 141 2806 WASHER SPR 3 1 SW3
32 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 1 M3X10
NOTE