YSM40_Mainte_C.pdf - 第132页
4-7 4 3.2.3 吸附台 ( 载盘夹部 ) 下面，介绍载盘夹部的清洁与加油的方法。 1 拆卸盖板。 用六角扳手拆下如右图所示的盖板。 55410-N5-00 2 清洁导轨。 用无尘纸擦去导轨的脏污润滑油与尘屑。 3 涂抹润滑油。 用手指给导轨涂抹润滑油。 55411-N5-00 4 将盖板装回原位。 将 Step1 中拆下的盖板装回原位。 3.2.4 吸附台 ( 上下导板部 ) 下面，介绍上下导板部的清洁与加油方法。 1 拆卸盖板…
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3.2 6 个月
3.2.1 AH 轴
下面，介绍 AH 轴 ( 导轨、滚珠导杆、齿条与小齿轮 ) 的清洁与加油方法。
1
清洁导轨。
用无尘纸擦去导轨的脏污润滑油与尘屑。
2
加润滑油。
1. 如右图所示，将润滑油注油嘴移至可以用润滑
油枪添加润滑油的位置。
2. 用润滑油枪 ( 弯折型枪嘴 ) 添加润滑油。
55407-N5-00
3
清洁滚珠导杆。
用无尘纸擦去滚珠导杆的脏污润滑油与尘屑。
4
涂抹润滑油。
用手涂抹薄薄的一层润滑油。
5
清洁齿条部。
用无尘纸擦去齿条部的脏污润滑油与尘屑。
6
涂抹润滑油。
用手指将润滑油均匀地涂抹在齿条部。
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擦去多余的润滑油。
1. 加润滑油之后，使该部件移动。
2. 确认润滑油的状态，有多余的润滑油时，用无
尘纸擦去。
3.2.2 载料箱轴部
下面，介绍载料箱轴部滚珠导杆的清洁与加油的方法。
1
清洁滚珠导杆。
用无尘纸擦去滚珠导杆的脏污润滑油与尘屑。
55409-N5-00
2
涂抹润滑油。
用手指给滚珠导杆涂抹薄薄的一层润滑油。
给AH轴加润滑油
Step 2
滚珠导杆
齿条部
导轨用润滑油注油嘴
导轨
给齿条部涂抹润滑油
Step 6
齿条部
给载料箱轴部涂抹润滑油
Step 2
载料箱轴部
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4
3.2.3 吸附台 ( 载盘夹部 )
下面，介绍载盘夹部的清洁与加油的方法。
1
拆卸盖板。
用六角扳手拆下如右图所示的盖板。
55410-N5-00
2
清洁导轨。
用无尘纸擦去导轨的脏污润滑油与尘屑。
3
涂抹润滑油。
用手指给导轨涂抹润滑油。
55411-N5-00
4
将盖板装回原位。
将 Step1 中拆下的盖板装回原位。
3.2.4 吸附台 ( 上下导板部 )
下面，介绍上下导板部的清洁与加油方法。
1
拆卸盖板。
用十字螺丝刀拆下如右图所示的盖板。
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2
清洁导轨。
用无尘纸擦去导轨的脏污润滑油与尘屑。
3
涂抹润滑油。
用手指给导轨涂抹润滑油。
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将盖板装回原位。
将 Step1 中拆下的盖板装回原位。
拆卸盖板
Step 1
盖板
涂抹润滑油
Step 3
导轨
拆卸盖板
Step 1
盖板
涂抹润滑油
Step 3
导轨
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4.真空泵的维修保养
本章节，介绍真空泵的维修保养方法 ( 主要是易耗零部件的更换 )。
■ 更换、清洁真空泵的易耗零部件时的注意事项
c
注意
运行结束之后，真空泵的内部还处于高温状态。请务必等待 30 分钟左右，确认真空泵已完全冷却之后，再进行更换或清洁。
c
注意
更换易耗部件时，务必佩带防尘口罩和防护手套。否则，会有吸入细微磨损粉或使手受伤的危险。
c
注意
真空泵重达 20Kg 以上，操作时，请注意安全，以免不慎滑落压伤脚，或损伤腰部。
■ 需使用的工具
1.六角扳手 5mm、3mm
2.扭矩扳手 六角套筒的对边为 5mm( 拧紧扭矩可设置为 8N/m 的扭矩扳手 )
3.十字螺丝刀 No.2
4.扭矩螺丝刀 No.2( 拧紧扭矩可设置为 0.55、1.4、3N/m 的扭矩螺丝刀 )
5.擦拭用溶剂 使用对橡胶部件无影响的乙醇
6.无尘纸 可擦除脏污的无尘纸等
7.防尘口罩、防护手套
8.油性记号笔
■ 易耗零部件列表 (PUMP SPARE KIT ：KLF-M86P0-00X)
零部件名 数量 更换频率 备注
碗形塞 8 8000 小时
密封垫圈 8 8000 小时
FLAP 24 8000 小时 吸气阀与排气阀
SHEET1 FLAP 8 8000 小时 吸气阀加固片
SHEET2 FLAP 8 8000 小时 排气阀加固片
O-Ring 16 8000 小时 连接管部