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4-9 4 4.1 真空泵的拆卸与操作前的准备 进行操作之前，请再次确认安全。 请参照前项“更换、清洁真空泵的易耗零部件时的注意事项” ，确认是否安全。 1 拆卸切带机部的排带通道。 参照前述第 1 章“2.1 切带机部排带通道的拆卸” ， 拆卸切带机部的排带通道。 2 拆卸贴片机的盖板。 1. 用十字螺丝刀拧松如右图所示的 6 颗固定螺钉 并拆下盖板。 2. 拆下盖板里侧的地线。 55414-N5-00 3 拆卸真空泵的外盖。 用较短…
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4
4.真空泵的维修保养
本章节，介绍真空泵的维修保养方法 ( 主要是易耗零部件的更换 )。
■ 更换、清洁真空泵的易耗零部件时的注意事项
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注意
运行结束之后，真空泵的内部还处于高温状态。请务必等待 30 分钟左右，确认真空泵已完全冷却之后，再进行更换或清洁。
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注意
更换易耗部件时，务必佩带防尘口罩和防护手套。否则，会有吸入细微磨损粉或使手受伤的危险。
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注意
真空泵重达 20Kg 以上，操作时，请注意安全，以免不慎滑落压伤脚，或损伤腰部。
■ 需使用的工具
1.六角扳手 5mm、3mm
2.扭矩扳手 六角套筒的对边为 5mm( 拧紧扭矩可设置为 8N/m 的扭矩扳手 )
3.十字螺丝刀 No.2
4.扭矩螺丝刀 No.2( 拧紧扭矩可设置为 0.55、1.4、3N/m 的扭矩螺丝刀 )
5.擦拭用溶剂 使用对橡胶部件无影响的乙醇
6.无尘纸 可擦除脏污的无尘纸等
7.防尘口罩、防护手套
8.油性记号笔
■ 易耗零部件列表 (PUMP SPARE KIT ：KLF-M86P0-00X)
零部件名 数量 更换频率 备注
碗形塞 8 8000 小时
密封垫圈 8 8000 小时
FLAP 24 8000 小时 吸气阀与排气阀
SHEET1 FLAP 8 8000 小时 吸气阀加固片
SHEET2 FLAP 8 8000 小时 排气阀加固片
O-Ring 16 8000 小时 连接管部
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4.1 真空泵的拆卸与操作前的准备
进行操作之前，请再次确认安全。
请参照前项“更换、清洁真空泵的易耗零部件时的注意事项”，确认是否安全。
1
拆卸切带机部的排带通道。
参照前述第 1 章“2.1 切带机部排带通道的拆卸”，
拆卸切带机部的排带通道。
2
拆卸贴片机的盖板。
1. 用十字螺丝刀拧松如右图所示的 6 颗固定螺钉
并拆下盖板。
2. 拆下盖板里侧的地线。
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3
拆卸真空泵的外盖。
用较短的十字螺丝刀或棘轮扳手拆卸 6 颗固定螺
钉。
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4
拆卸输气管。
4 梁机型时，拆卸左右各 4 根输气管 ；2 梁机型时，
只拆卸面向真空泵时右侧的 4 根输气管。
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5
拆卸上侧的真空泵。
1. 从侧面的外壳内拆下电源插头与地线。
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注意
拆卸地线时，注意不要丢失菊花垫片。
2. 用六角扳手 (4) 拆卸固定上侧真空泵的 4 根螺
栓。
3. 将真空泵向自己一侧拔出。
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注意
拆卸时，注意不要使真空泵滑落。
6
拆卸下侧的真空泵。
1. 用六角扳手 (4) 拆卸固定下侧真空泵的 2 根螺
栓(前侧)。
2. 拆下真空泵后，从侧面的外壳中拆下电源插头
与地线。
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拆卸贴片机的盖板
Step 2
固定螺钉
拆卸输气管与电源插头
Step 4, 5
输气管
电源插头
拆卸真空泵的外盖
Step 3
固定螺钉
真空泵外盖
拆卸真空泵
Step 5, 6
固定螺栓
(4处)
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4
4.2 易耗零部件的拆卸
4.2.1 泵头盖与气缸的拆卸
1
拆卸面板。
用十字螺丝刀拆卸固定面板的螺钉。
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2
将真空泵立着放置。
将真空泵立着放置，使需要更换的泵头朝上。
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3
拆卸固定螺栓。
用六角扳手拆下固定左右泵头盖的各 4 根螺栓
(M6×L30)。
4
拆卸泵头盖。
将左右泵头盖连同 2 根连接管一起拆下。
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拆卸面板
Step 1
面板
使真空泵立着放置
Step 2
需要更换的泵头
拆卸泵头盖
Step 3, 4
六角扳手 泵头盖 固定螺栓连接管