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Ref No. Remark s R 1 Q'ty 15 マスクク リーニング:S PV Mask C leaning:SPV ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品 番 Kit Name キット名称 MTKA000250AA Part Nam e 備 考 セクションNo. PARTS LIST Section No. R 3 SHAFT 1 1 N210142…

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15
マスククリーニング:SPV
Mask Cleaning:SPV
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000250AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
-
-
S97
( KMTKA000250AA-08-2 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
15
マスククリーニング:SPV
Mask Cleaning:SPV
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品　　番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000250AA
Part Name
備　　　考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
SHAFT
1
1 N210142731AA
ROLLER
1
2 N210142732AA
NUT-PLATE
2
3 N210142746AA
BRACKET
1
4 N210172412AB
BRACKET
1
5 N210172413AA
DOG
1
6 MTPB014515AA
HINGE
1
7 N510056971AA TH-61SUS-1
BUSH
2
8 N520LFF0606 LFF-0606
SENSOR
2
9 MTNS000245AA EE-SX954-C2J-R 0.5M
S98
-
-
( KMTKA000250AA-08-2 )
15
マスククリーニング:SPV
Mask Cleaning:SPV
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000250AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
-
-
S99
( KMTKA000250AA-08-3 )