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Ref No. Remark s R 1 Q'ty 49 マスク自動位置 決め部:SP V Mask Auto Pos itioning:SPV ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品 番 Kit Name キット名称 MTKA000285AA Part Nam e 備 考 セクションNo. PARTS LIST Section No. R 3 BRAC KET…
49
マスク自動位置決め部:SPV
Mask Auto Positioning:SPV
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000285AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
-
-
O127
( KMTKA000285AA-02 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
49
マスク自動位置決め部:SPV
Mask Auto Positioning:SPV
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000285AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
1
1 MTPB001243AA
CYLINDER
1
2 N510051192AA CDQSBS25-50-DCM5132M
JOINT
2
3 N510066662AA KQ2L04-M5A
VALVE
1
4 N510064061AA VQZ1151-5LOZ1-X551-Q
TUBE
1
6 KXF03PPAA00 TFU0425B-2
SWITCH:(D-M9NM:700mm)
1
7 N610153217AA
O128
-
-
( KMTKA000285AA-02 )
50
ヘッドX駆動部:SPV
Head X Drive:SPV
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000287AB
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
-
-
O129
( KMTKA000287AB-02-1 )