SPV.pdf - 第150页
17 マスククリーニン グユニット制御: SPV Mask Cleanin g Unit (H):SPV パーツレイアウト Kit No . キット品番 Kit Name キット名称 N610168653AA セクションNo. PARTS LAYOUT Section No. - - S105 ( KN610168653AA-01 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
16
銘板・警告ラベル(マスククリーニング):SPV
Label(Mask Cleaning):SPV
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000251AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
LABEL
1
1 MTPL000111AA
LABEL
1
2 N210178076AB
LABEL
1
3 KXF0DNCAA00 (Drawing available 0DNCA)
LABEL
2
4 N210129986AA
SEAL
1
5 MTPZ000604AA
SEAL
1
6 MTPZ000605AA
SEAL
1
7 MTPZ000689AA
S104
-
-
( KMTKA000251AA-05 )
17
マスククリーニングユニット制御:SPV
Mask Cleaning Unit (H):SPV
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610168653AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
-
-
S105
( KN610168653AA-01 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
17
マスククリーニングユニット制御:SPV
Mask Cleaning Unit (H):SPV
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610168653AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
Sensor Connection Board
1
1 N610096014AA PNF0A8-AA
SCREW
2
2XYN4+J8FN
Cross recessed Pan head machine screw with SW & Small round-plain wa
S106
-
-
( KN610168653AA-01 )