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CONTENTS
1
GLOBAL TRANSFORMER,NOISE FILTER ・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-101-02
2
CIRCUIT BREAKER ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-102-05
3
VACUUM PUMP MOTOR ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-103-02
4
DUST COLLECTOR ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-104-02
5
AC200V POWER SUPPLY 1 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-105-04
6
AC200V POWER SUPPLY 2 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-106-03
7
AC200V POWER SUPPLY 3 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-107-05
8
AC200V POWER SUPPLY 4 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-108-05
9
DRIVER CONTROL POWER SUPPLY 1 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-109-02
10
DRIVER CONTROL POWER SUPPLY 2 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-110-02
11
AC100V POWER SUPPLY 1 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-111-03
12
AC100V POWER SUPPLY 2 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-112-02
13
DC24 POWER SUPPLY ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-113-02
14
DC24 POWER SUPPLY 2 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-114-02
15
DC5V POWER SUPPLY ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-115-02
16
LEFT SIDE CONNECTION POWER SUPPLY ・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-116-01
17
MMI OPTICAL LOOP(LOOP1) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-117-01
18
NC OPTICAL LOOP(CN1) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-118-01
19
NC OPTICAL LOOP(CN2) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-119-01
20
NC OPTICAL LOOP(CN3) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-120
21
SC OPTICAL LOOP(LOOP1) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-121-03
22
SC OPTICAL LOOP(LOOP2) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-122-01
23
SC OPTICAL LOOP(LOOP3) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-123-02
24
FDD,MONITOR ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-124-04
25
FLOPPY DISK DRIVE ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-125
26
RECOGNITION CAMERA,MONITOR ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-126-02
27
TIMING CONTROLLER W/ENCODER ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-127-02
28
FAN MOTOR ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-128-01
29
VALVE OUTPUT 1(LOOP1) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-129-01
30
VALVE OUTPUT 2(LOOP1) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-130
31
HANDLE DETECTION,SIGNAL LIGHT ・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-131-03
32
SENSOR INPUT 1(LOOP1) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-132-01
33
SENSOR INPUT 2(LOOP1) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-133-01
34
POWER SOURCE UNIT I/F SIGNAL ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M30871-00-134-02