Q131225E05.pdf - 第8页
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CONTENTS
69
U AXIS DRIVER,SENSOR ･････････････････････････ M30871-00-169-02
70
WA AXIS DRIVER,SENSOR ････････････････････････ M30871-00-170-04
71
WH AXIS DRIVER,SENSOR
････････････････････････
M30871-00-171-03
72
THETA H AXIS DRIVER
･･････････････････････････
M30871-00-172-03
73
THETA H AXIS SENSOR ･･････････････････････････ M30871-00-173-01
74
V AXIS DRIVER ････････････････････････････････ M30871-00-174-03
75
V AXIS SENSOR ････････････････････････････････ M30871-00-175-01
76
T AXIS DRIVER,SENSOR ･････････････････････････ M30871-00-176-04
77
THETA A AXIS DRIVER
･･････････････････････････
M30871-00-177-01
78
THETA A AXIS SENSOR ･･････････････････････････ M30871-00-178-01
79
KEY SW UNIT 1 ････････････････････････････････ M30871-00-179-01
80
KEY SW UNIT 2 ････････････････････････････････ M30871-00-180-01
81
SUB-CONTROL PANEL ････････････････････････････ M30871-00-181-01
82
MAIN CONTROL PANEL
･･･････････････････････････
M30871-00-182-01
83
MAIN CONTROL PANEL
･･･････････････････････････
M30871-00-183
84
SAFETY RELEASE BUZZER UNIT ･･･････････････････ M30871-00-184
85
SC OPTICAL LOOP(FOR BSF) ･････････････････････ M30871-50-321
86
R.SIDE CONNECTION SIGNAL1(FOR BSF) ･･･････････ M30871-50-322
