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No DRAWING NAME DRAWING No. No DRAWING NAME DRAWING No. CONTENTS 35 INSERTION DETECTION UNIT ･･････････････････････ M30871-00-135-01 36 AIR DOWN DETECTION,ENABLEING ･･････････････････ M30871-00-136-01 37 Z AXIS SHUNTING …
No DRAWING NAME DRAWING No. No DRAWING NAME DRAWING No.
CONTENTS
1
GLOBAL TRANSFORMER,NOISE FILTER ･･･････････････ M30871-00-101-02
2
CIRCUIT BREAKER ･･･････････････････････････････ M30871-00-102-05
3
VACUUM PUMP MOTOR ･････････････････････････････ M30871-00-103-02
4
DUST COLLECTOR ････････････････････････････････ M30871-00-104-02
5
AC200V POWER SUPPLY 1 ･････････････････････････ M30871-00-105-04
6
AC200V POWER SUPPLY 2 ･････････････････････････ M30871-00-106-03
7
AC200V POWER SUPPLY 3 ･････････････････････････ M30871-00-107-05
8
AC200V POWER SUPPLY 4 ･････････････････････････ M30871-00-108-05
9
DRIVER CONTROL POWER SUPPLY 1 ･････････････････ M30871-00-109-02
10
DRIVER CONTROL POWER SUPPLY 2 ･････････････････ M30871-00-110-02
11
AC100V POWER SUPPLY 1 ･････････････････････････ M30871-00-111-03
12
AC100V POWER SUPPLY 2 ･････････････････････････ M30871-00-112-02
13
DC24 POWER SUPPLY ･････････････････････････････ M30871-00-113-02
14
DC24 POWER SUPPLY 2 ･･･････････････････････････ M30871-00-114-02
15
DC5V POWER SUPPLY ･････････････････････････････ M30871-00-115-02
16
LEFT SIDE CONNECTION POWER SUPPLY ･････････････ M30871-00-116-01
17
MMI OPTICAL LOOP(LOOP1) ･･･････････････････････ M30871-00-117-01
18
NC OPTICAL LOOP(CN1) ･･････････････････････････ M30871-00-118-01
19
NC OPTICAL LOOP(CN2) ･･････････････････････････ M30871-00-119-01
20
NC OPTICAL LOOP(CN3) ･･････････････････････････ M30871-00-120
21
SC OPTICAL LOOP(LOOP1) ････････････････････････ M30871-00-121-03
22
SC OPTICAL LOOP(LOOP2) ････････････････････････ M30871-00-122-01
23
SC OPTICAL LOOP(LOOP3) ････････････････････････ M30871-00-123-02
24
FDD,MONITOR ･･･････････････････････････････････ M30871-00-124-04
25
FLOPPY DISK DRIVE ･････････････････････････････ M30871-00-125
26
RECOGNITION CAMERA,MONITOR ････････････････････ M30871-00-126-02
27
TIMING CONTROLLER W/ENCODER ･･･････････････････ M30871-00-127-02
28
FAN MOTOR ･････････････････････････････････････ M30871-00-128-01
29
VALVE OUTPUT 1(LOOP1) ･････････････････････････ M30871-00-129-01
30
VALVE OUTPUT 2(LOOP1) ･････････････････････････ M30871-00-130
31
HANDLE DETECTION,SIGNAL LIGHT ･････････････････ M30871-00-131-03
32
SENSOR INPUT 1(LOOP1) ･････････････････････････ M30871-00-132-01
33
SENSOR INPUT 2(LOOP1) ･････････････････････････ M30871-00-133-01
34
POWER SOURCE UNIT I/F SIGNAL ･･････････････････ M30871-00-134-02
No DRAWING NAME DRAWING No. No DRAWING NAME DRAWING No.
CONTENTS
35
INSERTION DETECTION UNIT ･･････････････････････ M30871-00-135-01
36
AIR DOWN DETECTION,ENABLEING ･･････････････････ M30871-00-136-01
37
Z AXIS SHUNTING CHECK SIGNAL ･･････････････････ M30871-00-137-01
38
FRONT COVER SWITCH ････････････････････････････ M30871-00-138-02
39
REAR COVER SWITCH ･････････････････････････････ M30871-00-139-02
40
Z AXIS BOX PART COVER SWITCH ･･････････････････ M30871-00-140-02
41
FEEDER CARRIAGE SIGNAL ････････････････････････ M30871-00-141-01
42
FEEDER CARRIAGE SWITCH BOX ････････････････････ M30871-00-142-01
43
INTERLOCK BOARD ･･･････････････････････････････ M30871-00-143-02
44
RIGHT SIDE RAIL INPUT SIGNAL ･･････････････････ M30871-00-144
45
RIGHT SIDE RAIL OUTPUT ････････････････････････ M30871-00-145-02
46
LEFT SIDE RAIL INPUT SIGNAL ･･･････････････････ M30871-00-146
47
LEFT SIDE RAIL OUTPUT ･････････････････････････ M30871-00-147-02
48
P.C.B. TRANSFER SENSOR ････････････････････････ M30871-00-148-01
49
P.C.B. TRANSFER DRIVER ････････････････････････ M30871-00-149-02
50
XY TABLE SENSOR INPUT SIGNAL ･･････････････････ M30871-00-150-01
51
POSITIONER LEVER SIGNAL ･･･････････････････････ M30871-00-151-01
52
ENERGENCY STOP SWITCH ･････････････････････････ M30871-00-152-03
53
Z AXIS SAFETY BOX EMERGENCY STOP SW ･･･････････ M30871-00-153-02
54
H AXIS BRAKE SW,T AXIS POSITION ･･･････････････ M30871-00-154-03
55
SERVO ON SIGNAL 1 ･････････････････････････････ M30871-00-155-01
56
SERVO ON SIGNAL 2 ･････････････････････････････ M30871-00-156-02
57
SERVO ON SIGNAL 3 ･････････････････････････････ M30871-00-157-01
58
X AXIS DRIVER ･････････････････････････････････ M30871-00-158-03
59
X AXIS SENSOR ･････････････････････････････････ M30871-00-159-02
60
Y AXIS DRIVER ･････････････････････････････････ M30871-00-160-03
61
Y AXIS SENSOR ･････････････････････････････････ M30871-00-161-01
62
H AXIS DRIVER ･････････････････････････････････ M30871-00-162-03
63
ZR AXIS DRIVER ････････････････････････････････ M30871-00-163-02
64
ZR AXIS TABLE ･････････････････････････････････ M30871-00-164-01
65
ZR AXIS SENSOR ････････････････････････････････ M30871-00-165-02
66
ZL AXIS DRIVER ････････････････････････････････ M30871-00-166-02
67
ZL AXIS TABLE ･････････････････････････････････ M30871-00-167-01
68
ZL AXIS SENSOR ････････････････････････････････ M30871-00-168-02
No DRAWING NAME DRAWING No. No DRAWING NAME DRAWING No.
CONTENTS
69
U AXIS DRIVER,SENSOR ･････････････････････････ M30871-00-169-02
70
WA AXIS DRIVER,SENSOR ････････････････････････ M30871-00-170-04
71
WH AXIS DRIVER,SENSOR
････････････････････････
M30871-00-171-03
72
THETA H AXIS DRIVER
･･････････････････････････
M30871-00-172-03
73
THETA H AXIS SENSOR ･･････････････････････････ M30871-00-173-01
74
V AXIS DRIVER ････････････････････････････････ M30871-00-174-03
75
V AXIS SENSOR ････････････････････････････････ M30871-00-175-01
76
T AXIS DRIVER,SENSOR ･････････････････････････ M30871-00-176-04
77
THETA A AXIS DRIVER
･･････････････････････････
M30871-00-177-01
78
THETA A AXIS SENSOR ･･････････････････････････ M30871-00-178-01
79
KEY SW UNIT 1 ････････････････････････････････ M30871-00-179-01
80
KEY SW UNIT 2 ････････････････････････････････ M30871-00-180-01
81
SUB-CONTROL PANEL ････････････････････････････ M30871-00-181-01
82
MAIN CONTROL PANEL
･･･････････････････････････
M30871-00-182-01
83
MAIN CONTROL PANEL
･･･････････････････････････
M30871-00-183
84
SAFETY RELEASE BUZZER UNIT ･･･････････････････ M30871-00-184
85
SC OPTICAL LOOP(FOR BSF) ･････････････････････ M30871-50-321
86
R.SIDE CONNECTION SIGNAL1(FOR BSF) ･･･････････ M30871-50-322