KE-2070_80_80R_Operation_Manual1_Rev05_C.pdf - 第21页
操作手册Ⅰ 2-10 〈顺序 5 〉检查基板的传送状况。 请在 IN 缓冲（传送带站台）上设置基板，确认在连续动作时基板移动流畅无阻。 显示传送控制画面。 请在简易准备画面上 选择「传送动作」。 2.请选择 「基板搬进 （外形基准） 」 。 3. 请按下「执行」。 使基板搬入·固定。 1. 请输入基板厚度。 选择 「基板搬出」 ，按下 「执行」 后， 即可搬出基板。
操作手册Ⅰ
2-9
〈顺序4〉调整夹杆X
・
夹杆Y。
①在个别控制传送画面上选择「外形基准汽缸」，运行夹杆X和夹杆Y。
② 请调整夹杆X的位置。
请选择「外形基准汽缸」。
操作「打开」/「关闭」。
夹杆X
・
夹杆Y会同时移动起来。
夹杆Y
夹杆X
※ 调整夹杆Y的压力，请参见『使用说
明书CD』的「2-7-1-4外形基准的调
整方法」。
若是薄基板，请确认基板固定后有无上
翘。
基板上翘时，请调整夹杆的压力。
转动调节手柄，对准基板调整夹杆X
的位置。夹杆X与基板之间留下0.5mm
空隙，调整好后，把调节挡销固定住。
操作手册Ⅰ
2-10
〈顺序5〉检查基板的传送状况。
请在IN缓冲（传送带站台）上设置基板，确认在连续动作时基板移动流畅无阻。
显示传送控制画面。
请在简易准备画面上
选择「传送动作」。
2.请选择
「基板搬进（外形基准）」。
3. 请按下「执行」。
使基板搬入·固定。
1. 请输入基板厚度。
选择「基板搬出」，按下「执行」后，
即可搬出基板。
操作手册Ⅰ
2-11
〈顺序6〉确认外形基准位置·进行示教（对准位置）。
在〈顺序2〉调整了停止挡销时，需要对准「外形基准位置」。
①请搬入基板。（参见〈顺序5〉）
②显示设置外形基准位置画面。
③ 用HOD，确认·示教「X（停止挡销）」的位置。
选择「外形基准位置」。
把画面上的光标对准「Ｘ（停止挡销）」。
※X停止挡销 ＝ 挡销
＜HOD＞
※ 示教方法的详细内容、请参见『使用说明书
CD
』的「
4-5-2
示教」。
挡销
基板
2. 边看示教监视器，边操作HOD的-
θ-X、+θ+Y键，使基板和挡销
接触线在X方向的中心。
1. 请按下「CAMERA」。
3. 对好位置后，请按下「ENTER」，
便会出现数值。
为防止人体受伤，操作HOD时请不要把手伸进装置内部，头部·脸
部也不要靠近装置。
注意