JM-10_OperationManual_Rev01_C.pdf - 第54页
操作手册 3-14 { 更换 O 环 S-67 1 ） 用与更换密封垫一样手法， 取下泵头盖 和泵头支架。 ※ 泵头支架与碗形密封气缸之间的 O 环 S-67 有时会粘连。 此时如将泵头支架抬起，碗形密封气缸会被一起往上拉。 这种情况下，请撕开剥离之后再进行操作。 2 ） 更换碗形密封气缸上部的 O 环 S-67 ，更换上新的 O 环。 ※ 盖子的安装 ，请遵照密封圈的更换 顺序实施。在更换其它 消耗部件时，在不关闭 盖子状态下 参照个…
操作手册
3-13
3) 拆下连接真空泵的气管①、
再拆下线綑(电源、地线)②、
把固定 VAC_PUMP_PLATE③的
六角凹头螺栓 (M4×8)④拆下来。
4) 把真空泵从主体中取出。 (取出时，请注意线綑。)
※ 取下真空泵时，真空泵托架⑤与橡胶薄片⑥有时会粘连。
剥开粘连的橡胶片时，请在操作中不要把手碰到周围的部件。
※ 取下真空泵时请不要手持連接管⑦。
{ 密封垫的更换
1） 取下泵头盖的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2） 取下泵头盖内测的黑色密封垫，共 2 个，更换上新的密封垫。
※ 确认密封垫完全放置在泵头盖的密封垫槽内，请注意泵头盖和支架间不要出现相互咬合情况。
3） 请将固定泵头盖用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 的力进行对角拧紧。
（在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下参照个部位的更换工程项目）
泵头盖
内六角螺栓×8
密封垫
泵头护罩的内侧
③
④
⑦
挂钩式
(该托架是固定在主机上的。)
⑥
⑤
①
②
(④)
操作手册
3-14
{ 更换 O 环 S-67
1） 用与更换密封垫一样手法，取下泵头盖
和泵头支架。
※ 泵头支架与碗形密封气缸之间的 O 环 S-67 有时会粘连。
此时如将泵头支架抬起，碗形密封气缸会被一起往上拉。
这种情况下，请撕开剥离之后再进行操作。
2） 更换碗形密封气缸上部的 O 环
S-67，更换上新的 O 环。
※ 盖子的安装，请遵照密封圈的更换顺序实施。在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下
参照个部位的更换工程项目。
泵头支架
将泵头支架反过来的状态
碗形密封气缸
泵头支架
O 环 S-67
O 环 S-67
碗形密封气缸
操作手册
3-15
<更换 O 圈 P-10>
{ 更换 O 环 P-10
1） 用与更换密封垫一样手法，取下泵头盖和泵头支架。
2） O 环 P-10 安装到位于连接泵头罩之间的连接管内。事先，确认在 O 环上涂有真空黄油。
3） 插入连接管时，注意不要造成 O 环划伤，进行更换。（1 根管内有 2 个）
※ 盖子的安装，请遵照密封圈的更换顺序实施。在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下
参照个部位的更换工程项目。
{ 碗形密封垫圈、防止吸气阀碰触胶垫的更换
1） 取下 3 个（共 6 个）平头小螺丝(M4×8)，取下固定器、防止吸气阀碰触胶垫、碗形密封垫圈。
2） 将气缸与固定器之间异物清除干净。
3） 清扫之后的气缸设置在支柱上，将新碗形密封垫圈的中心与连杆安装碗形密封垫圈位置的
中心对齐，用手将气缸推入。
O 环 P-10 连接管
固定器
连杆
平头小螺钉
防止吸气阀
碰触胶垫
碗形密封垫
※ 注意朝向