JM-10_OperationManual_Rev01_C.pdf - 第57页
操作手册 3-17 真空 泵 分解 图 No. 名称 No. 名称 1 支柱 1 0 O 环 S-67 2 泵头盖 1 1 密封材 3 泵头支架 1 2 排气阀按压件 4 碗形密封气缸 1 3 排气阀 5 连杆 1 4 防止吸气阀碰触胶垫 6 固定器 1 5 O 环 P-10 7 碗形密封垫 1 6 内六角螺栓（ M5 × 20 ） 8 吸气阀 1 7 平头小螺钉 (M4 × 8) 9 连接管 1 8 圆头小螺钉 (M3 × 5)
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4) 安装了新防止吸气阀碰触胶垫的固定器放置在碗形密封垫圈之上，使用涂抹了螺钉松动防止剂
(NK-4)的平头小螺丝(M4×8)，用 3.0N・m 的力拧紧安装。
※ 请按照密封材料更换步骤实施盖子的安装。在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下
参照个部位的更换工程项目。
{ 吸气阀、排气阀的更换
1） 松开圆头螺钉(M3×5) ，按下并取下排气阀。
2） 擦干净泵头支架，更换新的排气阀。
3） 盖上排气阀按压件，使用 0.8N・m 的力，用涂抹了螺钉松动防止剂（Loctite242）的圆头螺钉
(M3×5)对泵头支架进行固定。
4） 松开固定吸气阀的圆头螺钉(M3×5)，取下吸气阀和垫片。
5） 擦干净泵头支架，更换新的吸气阀。在将吸气孔、排气孔完全覆盖状态下，安装吸气阀、排
气阀。
6） 放好垫片，使用 0.8N・m 的力，用涂抹了螺钉松动防止剂（Loctite242）的圆头螺钉(M3×5)
对泵头支架进行固定。
※ 请按照密封材料更换步骤实施盖子的安装。在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下参
照个部位的更换工程项目。
排气阀按压件
排气阀
吸气阀
垫片
泵头支架
x 涂抹在螺钉头纹路2～3圈。
x 螺钉前端处不要涂抹。
Loctite涂抹量
固定器
平头小螺钉
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真空泵分解图
No. 名称 No. 名称
1 支柱 10O环 S-67
2 泵头盖 11密封材
3 泵头支架 12排气阀按压件
4 碗形密封气缸 13排气阀
5 连杆 14防止吸气阀碰触胶垫
6 固定器 15O环 P-10
7 碗形密封垫 16内六角螺栓（M5×20）
8 吸气阀 17平头小螺钉(M4×8)
9 连接管 18圆头小螺钉(M3×5)
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3-3 清扫
1)请检查Ｘ轴单元和Ｙ軸单元轨道上有无附着垃圾、灰尘，并清扫干净。
把黄油揩干后，请涂抹新黄油。
2)请检查 X 轴单元和 Y 轴单元的滚珠丝杠行程末端是否有润滑油积聚，如有积聚请将其擦除。
除了积聚部分之外，请不要擦去其他地方的润滑油。并且，擦去时请不要对轴进行润滑油涂
敷。
涂摸黄油的地方，请参见使用说明书“3-4 注油 3-4-1 XY 轴直动单元或 3-4-2 XY 轴
滚珠丝杠”。
清扫部位
3-3-1 XY轴直动单元
实施频度 ：每月
清扫内容 除去轨道上的灰尘、脏黄油
使用工具 ：毛刷、抹布 使用黄油 ：
6459 润滑油 N
X 轴轨道
Y 轴轨道
滚珠丝杠