连续式微粒子监控系统 8000Plus.pdf - 第26页
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• 校正设备
通过粒子产生器打（DUKE）标准微粒子，确认标准粒径下的微粒对应的波形，调整偏移的波
形，达到粒径通道校正的目的
FMS 实绩
客户名称
系统类别
系统数量
点位数量
备注
上海台积电（
TSMC）
Manifold
11
套
252
点
Since 2008
上海台积电（
TSMC）
Manifold
1
套
22
点
Since 2013
QSMC
Manifold
3
套
60
点
Since 2008
天马微电子
Wireless
4
套
4
点
Since 2008
康宁
Manifold
8
套
164
点
Since 2008
群创
Remote sensor
70
颗
70
点
Since 2008
群创
Manifold
30
套
918
点
Since 2008
群创
Wireless
9
套
9
点
Since 2009
奇美
Manifold
55
套
708
点
Since 2009
奇美
Remote sensor
34
颗
34
点
Since 2009
奇美
Wireless
22
套
22
点
Since 2009
Hannstar
Manifold
35
套
458
点
Since 2010
Hannstar
Remote sensor
212
颗
212
点
Since 2010