连续式微粒子监控系统 8000Plus.pdf - 第27页

F M S 实绩 客户名称 系统类别 系统数量 点位数量 备注 上海台积电（ TSMC ） Manifold 11 套 252 点 Since 2008 上海台积电（ TSMC ） Manifold 1 套 22 点 Since 2013 QSMC Manifold 3 套 60 点 Since 2008 天马微电子 Wireless 4 套 4 点 Since 2008 康宁 Manifold 8 套 164 点 Since 2008…