MS-510 维护手册Maintenance Manual-C.pdf.pdf - 第11页

6、工作台、传入、传出导轨涂抹润滑脂部位 7、基板托板导杆涂抹润滑脂部位 8、传送系统 —6 / Meister  MS ‐ 510 柔性 联轴节 （各 丝 杠 处 一个） 滚珠丝杠（各导轨处一根） 杆 （ 传入 、 传出各两根 ） 杆 （ 传入 、 传出各两根 ） 导杆（4个） 皮带张紧调整处 皮带张紧调整处 传送带 10 —