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0810-001 電気ノイズなどが入らない場所であること。 装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し てください。 可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。 油煙またはほこりがない場所であること。 水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。 メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。 前後工程におけるコンベアの状況および装置の状況により、基板供給部また …
据付け時の注意
設置環境が悪いと、装置の性能が十分に発揮されなかったり、故障や事故の原因
にもなります。
設置の際には、以下に示す各項目に従って正しい環境を確保してください。
装置の移設を予定されている場合は、あらかじめ株式会社日立ハイテクノロジー
ズの営業部門または販売代理店にご相談ください。
装置の質量を支える強度が保持できる場所であること。
ノート
装置の据付け場所は 1 階を推奨します。
1 階以外に据付ける場合は、株式会社日立ハイテクノロジーズの営業部
門または販売代理店にご相談ください。
著しい振動がない場所であること。
周囲温度が 20
±
10
°
C であること。
また、湿度が 30 ～ 80%
の範囲にあり、結露しない場所であること。
装置を現在の装置表面温度より高い温度の環境に搬入 / 搬出する場合は、以下の
条件により結露するおそれがあります。
結露すると、装置が故障する原因となりますので注意してください。
結露の条件
“搬入 / 搬出の湿度 (%)”を基準にすると、“搬入 / 搬出先の温度と装置表面温度
との差”が、以下の値以上になると結露のおそれがあります。
搬入 / 搬出の湿度 (%) 搬入 / 搬出先の温度と装置表面温度との差
80 3 ℃以上
70 6 ℃以上
60 8 ℃以上
50 10 ℃以上
40 14 ℃以上
30 18 ℃以上
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5.正しくお使いいただくための注意事項
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安全にお取扱いいただくために
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電気ノイズなどが入らない場所であること。
装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し
てください。
可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。
油煙またはほこりがない場所であること。
水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。
メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。
前後工程におけるコンベアの状況および装置の状況により、基板供給部また
は基板排出部のコンベア開口部が大きい場合には、隙間ができないように、
お客様において処置を施してください
供給電源について
本体装置に供給する電源は、以下の容量であることを確認してください。
•
電圧 ： 3 相 AC 200V
±
20V
•皮相
電力 ： 約 7.7 kVA 以下
電圧が変動
したり、電源ラインにノイズが重なる場合、本装置に悪影響を及ぼす
ばかりでなく、装置が誤動作して事故の原因になることがあります。
他設備などにノイズ発生防止などの処置を施してください。
1
次電源の準備および接続は、貴社にて対応願います。
•
装置の一次電源引き込み部への接続は、はじめに接地ライン (PE) を接続し
てください。
•
接地 (PE) は、D 種接地工事 ( 旧第 3 種接地工事 ) 以上としてください。
•
接地ラインは、他のケーブル (L1、L2、L3) よりも余裕をもった長さで接続
してください。
装置へ給電するブレーカが漏電ブレーカである場合は、定格感度電流が 60 mA
以上で高周波成分をキャンセルするブレーカであることを確認してください。
•
漏洩電流 : 30 mA 以下
一般的に漏電ブレーカは、漏洩電流が定格感度電流の 50 % 以下であればトリッ
プすることはありませんが、50 % を超えるとトリップすることもあります。
また、電源に高周波などの高周波成分が含まれていると装置が正常でも漏洩電流
が増えることになり、高周波成分をキャンセルできない漏電ブレーカでは誤動作
のおそれがあります。
5.正しくお使いいただくための注意事項
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安全にお取扱いいただくために
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エアについて
本体装置には、空気圧が 0.45 ～ 0.69 MPa (4.6 ～ 7 kgf/cm
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) で、水分、油分お
よび塵埃 ( ダスト ) を含まない空気 ( ドライクリーンエア ) を供給してくださ
い。水分などを多く含むエアを使用すると、装置内部にそれらが付着し、正常な
動作をしなくなるおそれがあります。
ノート
ドライクリーンエアとは
水 分 ： 露点 -17
°
C 以下 ( 大気圧 )
油 分 : 0.1mg/
m
3
以下 (ANR)
ダスト : 固形物 0.01
m
m 以下
データのバックアップについて
装置の故障や誤操作などで、データが使えなくなる場合があります。 万一に備え
て、コンパクトフラッシュカードの内容をネットワークターミナル ( オプショ
ン ) に定期的にバックアップしてください。
コンピュータウィルスについて
プログラムやデータが急に壊れたり、予測できない動作をしたり、操作パネルに
異常な画面が表示されるときは、コンピュータがコンピュータウィルスに感染し
た可能性があります。
コンピュータウィルスとは、コンピュータに密かに侵入し、コンピュータを勝手
に動かしたり、データを破損する悪質なプログラムのことです。
また、そのようなコンピュータウィルスを除去するプログラムをワクチンプログ
ラムといいます。
コンピュータウィルスが感染したコンピュータからの通信やコンピュータウイル
スに感染した記録媒体を介してコンピュータウィルスが感染することがありま
す。
装置内蔵のコンピュータがコンピュータウィルスに感染するおそれのある場合
は、ワクチンプログラムでチェックしてください。
ただし、ワクチンプログラムの種類によって、コンピュータのウィルスを取除く
ことができないことがあります。
このような場合のためにも、事前にデータのバックアップを必ずとっておいてく
ださい。
5.正しくお使いいただくための注意事項
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安全にお取扱いいただくために
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