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基板チャック部 記 号 名 称 記 号 名 称 B251 テーブル幅軸原点 M25 テーブル幅軸モータ B48 基板横クランプ前進限 M49 テーブル基板搬送 1 B49 幅異常検出 M51 テーブル基板搬送 2 0906-002 B49 B251 M51 B48 M25 B49 M49 2-5 5OM-1501
テーブル部 (X 軸、θ 軸)
記 号 名 称 記 号 名 称
B191 テーブル X 軸原点 M19 テーブル X 軸モータ
B192 テーブル X 軸
+ オーバーラン
M21 テーブル θ 軸モータ
B193 テーブル X 軸
− オーバーラン
B211 テーブル θ 軸原点
B212 テーブル θ 軸
+ オーバーラン
B213 テーブル θ 軸
− オーバーラン
0906-002
B193
B212
B213
B211
M21
B192
B191
M19
2-4
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基板チャック部
記 号 名 称 記 号 名 称
B251 テーブル幅軸原点 M25 テーブル幅軸モータ
B48 基板横クランプ前進限 M49 テーブル基板搬送 1
B49 幅異常検出 M51 テーブル基板搬送 2
0906-002
B49
B251
M51
B48
M25
B49
M49
2-5
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テーブル部 (Z 軸、基板上下軸 )
記 号 名 称 記 号 名 称
B171 テーブル Z 軸原点 M17 テーブル Z 軸
サーボモータ
B172 テーブル Z 軸
+ オーバーラン
M23 基板上下軸
サーボモータ
B173 テーブル Z 軸
− オーバーラン
B4C テーブル Z 軸
インタロック
B4D テーブル Z 軸補正位置
B231 基板上下軸原点
B232 基板上下軸
− オーバーラン
B233 基板上下軸
+ オーバーラン
0906-002
M23
M17
B232(D)
B233
B231(U)
B173
B4C
B4D
B172
B171
2-6
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