SM310(Chi) Maintenance Handbook-Distribute_.pdf - 第11页
SM 3 10 M ai nte na nc e Ha nd bo ok 1 1 维护用工具 PART I . 维护条件 1 . Cleaning Kit ( 材料编号 : J 8100118 A 通称 用途 空气喷射器 吹掉 Camera 镜片表面上的灰尘 。 清除供料器底座表面的晶片或异物 。 刷子 2 小刷子 清除 Mirror 表面的灰尘 。 3 棉棒 擦拭 Nozzle Holder 。 4 酒精 擦拭 Cover Glass…
SM310 Maintenance Handbook
10
50/60Hz
3 (Phase)
Y-Y
3 phase AC 220V ±10%(4线)
切换200/208/220/230/240
输入变压器电源
改变段子时
作业环境及条件
PARTI
.
维护条件
^
1
.
对压缩气的要求事项
&
3
.
环境条件
區分
说明
區分
说明
主气压
0.5
0.7
Mpa
温度
+
10
°
C
~
+
35
°
C
副气压
运行时
0.5
0.6
Mpa
50
%
RH
以下
(
+
35
°
C
)
90
%
RH
以下
(
+
20
°
C
)
湿度
压缩气用量
最大
500
NL
/
min
温度
干燥空气
-
10
°
C
-
+
60
°
C
大气露点
-
17
°
C
或以下
搬 运 或 存 放
时
(
设备运行
以外的状态
）
20
%
RH
~
90
%
RH
(
非结冰状态
）
湿度
@
2
.
对电源的要求事项
说明
备注
區分
Capacity
RMS
3.4
KWh
/
Max
.
8.9
KVA
li
Frequency
相位
Phase
Connection
Rated
Primary
Voltage
IJli
A
如果未使用指定规格的电压或错误变更电源输入
，
可能导致火灾或电击死亡
。
变更电源输入操作必须由经过专门培训的维护修理管理人员或我方授权指定的
C
/
S
人员进行
。
警告
SM310 Maintenance Handbook
11
维护用工具
PART
I
.
维护条件
1
.
Cleaning
Kit
(
材料编号
:
J
8100118
A
通称
用途
空气喷射器
吹掉
Camera
镜片表面上的灰尘
。
清除供料器底座表面的晶片或异物
。
刷子
2
小刷子
清除
Mirror
表面的灰尘
。
3
棉棒
擦拭
Nozzle
Holder
。
4
酒精
擦拭
Cover
Glass
的表面
。
5
干净的布
Mirror
或镜片上有异物而需要清扫时使用
6
凹凸
(
emboss
)
手套
清扫
Camera
或
Mirror
时使用
鼴
i
本设备维护时必须使用的
Cleaning
Kit
将随机提供
。
PARTI
维护条件
SM310 Maintenance Handbook
12
H
D
-
1
0
8
H
D
-
1
0
8
R
S
S
U
R
E
R
E
G
U
L
A
T
O
R
S
A
F
E
G
U
A
R
O
V
E
R
R
I
D
E
M
A
IN
S
W
I
T
C
H
R
E
A
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Y
S
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A
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P
R
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.O
N
.
S
EL
E
C
T
F
EE
D
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R
C
H
A
N
G
E
PART
I
.
维护条件
2
.
维护用工具
Qli
t
<
s
:
難
■
•
-
.
NO
.
物料番號
7
mm
扳手
J
1700011
T
扳手
2
J
9099034
A
吸嘴用润滑油
3
J
8001073
A
_
喷射器
4
J
8001072
A
起子
5
J
8001065
A
廠
:
?
活动扳手
6
J
8001066
A
46
mm
板手
J
1700028
精密螺丝起子组合
8
J
1700015