SM310(Chi) Maintenance Handbook-Distribute_.pdf - 第49页
SM 3 10 M ain te na nc e Ha nd bo ok 49 PART IV . 每月检验 4 . 传送轨道及 ANC 构成气缸的动作检验 3 . Inlet / Outlet Transport Shuttle Stopper 的磨损检验及更换方法 Inlet / Outlet Transport Shuttle Stopper 的磨损状态后 , 严重磨损时请进行更换 。

SM310 Maintenance Handbook
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PART
IV
.
每月检验
1
〔
4
.
传送轨道及
ANC
构成气缸的动作检
®
2
.
Work
Station
Stopper
的磨损检验及更换方法
检验
Work
Station
Stopper
的磨损状态后
,
严重磨损时请进行更换
。

SM310 Maintenance Handbook
49
PART
IV
.
每月检验
4
.
传送轨道及
ANC
构成气缸的动作检验
3
.
Inlet
/
Outlet
Transport
Shuttle
Stopper
的磨损检验及更换方法
Inlet
/
Outlet
Transport
Shuttle
Stopper
的磨损状态后
,
严重磨损时请进行更换
。

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PART
IV
.
每月检验
电子装置检验
,
1
.
,
@
3
.
使用真空清扫器清扫
Cooling
Fan
2
.
使用
(
+
)
改锥拆卸左
/
右盖