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80 79 電控類 驅動類組件系列 CVAR 系列真空電控比例閥 接管口徑 Rc/NPT/PF 型式 使用壓力範圍 (kPa) CVAR-2900 3/8 1/4 DC24V -2.5 ~ -80 電源電壓 監控輸出 電流型 DC4~20mA 電壓型 DC0~5V 電壓型 DC0~10V NPN 輸出 PNP 輸出 類比 DC1~5V 類比 DC4~20mA 輸入訊號 SCAN ME ±5%F.S. 壓力控制精度 CVTR 系列…

100%1 / 128
78
77
機械夾爪類
驅動類組件系列
機械夾爪類
驅動類組件系列
⁄
安全須知
單位表
簡介
產品體系
閥
類
藥液閥類
接
頭
類
配
件
類
真空

吸盤類
⁄
氣
缸
類
機械夾爪類
調
理
類
機加工類
電
控
類
電動缸類
RMT 系列°換向夾持缸
RMT25-Q25
RMT25-Q32
RMT25-Q40
RMT25-M25
RMT25-M32
RMT25-M44
RMT25-W25
RMT25-W32
RMT50-Q50
RMT50-Q63
RMT50-M55
RMT50-M70
RMT50-W40
RMT50-W50
35
82
149
157
265
431
148
245
314
496
810
1306
451
738
30
70
131
129
239
377
RMT15-Q16
RMT15-Q20
RMT15-M25
RMT15-W20
16
28
157
94
14
25
129
84
134
221
282
446
713
1195
402
662
型式 使用流體
空氣 複動型 複動型
外徑夾持力 內徑夾持力
夾持力
(N)
型式
作動型式
迴轉氣缸 夾爪氣缸
潤滑
使用溫度
4.5 ~ 7
( 450 ~ 700 )
迴轉氣缸 夾爪氣缸
主配管接頭口徑
kgf/cm² (kPa) °C
使用壓力範圍
4.5 ~ 7
( 450 ~ 700 )
kgf/cm² (kPa)
使用壓力範圍
可配置夾爪氣缸
RMT-15
RMT-25
RMT-50
M55~60 M5
HDQ、HMQ、HDW
迴轉缸
緩衝裝置
油壓緩衝
自由
供給
方式
SCAN ME
RTL 系列90°換向模組
型式
使用溫度
1.5 ~ 7
( 150 ~ 700 )
接管口徑
kgf/cm² (kPa) °C
迴轉時間
(sec / 90°)
扭力
(N‧m)
使用壓力範圍
RTL-18
RTL-25
RTL-32
RTL-40
RTL-50
0.3
0.4
0.6
0.8
1.0
0.7xP
1.9xP
4xP
7xP
15xP
0~50
90° ±3°
角度
調整範圍
旋轉
角度
M3x0.5P
M5x0.8P
PT 1/8
作動
型式
使用
流體
複動
型
空氣
SCAN ME
RBZ-10
RBZ-20
RBZ-16 16
RBZ-25 16
10
20
註 : 爪臂接點長度 = 20mm(RBZ=30mm)，使用壓力 = 5 kgf/cm
2
時之數據。
外徑夾持力 內徑夾持力
夾持力
使用壓力範圍
RB 系列迴轉機械夾
kgf/cm² (kPa)
夾爪部迴轉部
SCAN ME


複動型
16
RBW-10
RBW-20
RBW-16
10
20
RBW-25 25
16
RBQ-10
RBQ-20
RBQ-16
10
20
RBQ-25 25


1810.5
4834
6241
10062.5
2320
7567.5
111.5108
167.5163
2320
4238
139.5114
232.5212
4
10
4
14
4
8
5
12
4
5.2
4
8.4
開閉行程
mm
作動型式
缸徑
Ø mm
型式
N
E
W


複動型
4RMZ-10
10RMZ-20
4
1810.5
4834
6241
14 10062.5
RMZ-16 16
16
10
20
RMZ-25 25
4RMW-10
8RMW-20
5
2320
7567.5
111.5108
12 167.5163
RMW-16
10
20
RMW-25 25
16
4RMQ-10
5.2RMQ-20
4
2320
4238
139.5114
8.4 232.5212
RMQ-16
10
20
RMQ-25 25
註 : 爪臂接點長度 = 20mm(RMZ=30mm)，使用壓力 = 5 kgf/cm
2
時之數據。
外徑把持力 內徑把持力
夾持力
(N)
kgf/cm² (kPa)
使用壓力範圍
開閉行程
mm
作動型式
缸徑
RM 系列迴轉機械夾
Ø mm
型式
夾爪部
迴轉部


SCAN ME
N
E
W
型式 迴轉角度 迴轉部位固定方式
180°
側面固定
底部固定
前方固定
JRM-16 6 0.14
JRM-20 8 0.38
JRM-25 10 0.78
JRM-32 12 1.8
JRM-40 14 3.8
2 ~ 7
( 200 ~ 700 )
出力扭力(N • m )
kgf/cm² (kPa)
使用壓力範圍軸徑
JRM 系列葉片式直線迴轉氣缸
Ø mm
SCAN ME
N
E
W
型式 迴轉角度 迴轉部位固定方式
180° 前側固定
JRB-32 12 1.5
JRB-40 14 2.2
1.5 ~ 7
( 150 ~ 700 )
出力扭力(N • m )
kgf/cm² (kPa)
使用壓力範圍軸徑
JRB 系列齒輪式直線迴轉氣缸
Ø mm
SCAN ME
N
E
W
N
E
W
12,24,4812HDF-12 4848
8,16,328HDF-8 1919
16,32,6416HDF-16 9090
20,40,8020HDF-20 140140
開閉行程
mm
型式 作動型式
複動型
1.5 ~ 7.0
( 150 ~ 700 )
註 : 爪臂接點長度 = 10mm，使用壓力 = 5 kgf/cm
2
時之數據。
開 閉
夾持力
(N)
kgf/cm² (kPa)
使用壓力範圍缸徑
HDF 系列滑軌型平行機械夾
Ø mm
SCAN ME
80
79
電控類
驅動類組件系列
CVAR
系列真空電控比例閥
接管口徑
Rc/NPT/PF
型式
使用壓力範圍
(kPa)
CVAR-2900
3/8
1/4
DC24V-2.5 ~ -80
電源電壓 監控輸出
電流型DC4~20mA
電壓型DC0~5V
電壓型DC0~10V
NPN輸出
PNP輸出
類比DC1~5V
類比DC4~20mA
輸入訊號
SCAN ME
±5%F.S.
壓力控制精度
CVTR
系列電控比例閥
接管口徑
型式
使用壓力範圍
kgf/cm² (kPa)
CVTR-201
CVTR-301
CVTR-101
CVTR-205
CVTR-305
CVTR-105
CVTR-209
CVTR-309
CVTR-109
1/4
1/8
3/8
1/4
3/8
1/2
1/4
DC24V
0.05~1 (5~100)
0.05~5 (5~500)
0.05~5 (5~500)
0.05~5 (5~500)
0.05~9 (5~900)
0.05~9 (5~900)
0.05~9 (5~900)
0.05~1 (5~100)
0.05~1 (5~100)
電源電壓 監控輸出
電流型
DC4~20mA
電壓型
DC0~5V
電壓型
DC0~10V
NPN輸出
PNP輸出
類比DC0.5~4.5V
僅適用規格
類比

類比DC4~20mA
輸入訊號
SCAN ME
±2%F.S.
壓力控制精度
註、、為特規品
電控類
驅動類組件系列
⁄
安全須知
單位表
簡介
產品體系
閥
類
藥液閥類
機械夾爪類
機加工類
接
頭
類
配
件
類
真空

吸盤類
⁄
氣
缸
類
調
理
類
電
控
類
電動缸類
CMAA500
系列薄型真空電控比例閥
單體型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
kPa
CMAA-500 Ø4/(Ø5/32") DC24V ±1.5%F.S.-80
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
註為特規品
CMTB500
系列薄型電控比例閥
聯座型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
MPa
CMTB-501
CMTB-505
CMTB-509
聯座單體：
øø
聯座側板：
øø
DC24V ±5%F.S.
0.001~0.1
0.001~0.5
0.001~0.9
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
CMAB500
系列薄型真空電控比例閥
聯座型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
kPa
CMAB-500
聯座單體：
øø
聯座側板：
øø
DC24V ±1.5%F.S.-80
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
註為特規品
CMTA500
系列薄型電控比例閥
單體型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
MPa
CMTA-501
CMTA-505
CMTA-509
Ø4/(Ø5/32") DC24V ±5%F.S.
0.001~0.1
0.001~0.5
0.001~0.9
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
MF
系列質量流量計控制器
RS-485
4~20mA
RS-485
0~5 V
EtherCAT
RS-485
氣體種類 電源電壓
重複精度
數位通信
DC24V
DC24V
DC24V
DC24V
SCAN ME
N
E
W
CVFR
系列流量電控比例閥
連接口徑
型式
設定流量範圍
L/min
CVFR-500 Ø8 DC24V ±3%F.S.0~50
電源電壓
流量控制精度
輸出訊號
電流型
電壓型
電壓型
錯誤
錯誤
開關錯誤
開關錯誤
輸入訊號
SCAN ME
N
E
W
型式
MFM-FC-A01
MFM-FC-A05
MFM-FC-001
MFM-FC-005
MFM-FC-020
MFM-FC-050
MFM-FC-100
MFM-FC-200
MFM-FC-500
MFM-FC-101
MFM-FC-201
MFM-FC-501
MFM-FC-801
MFC-FC-A01
MF-C300-A01
MF-C300-A05
MF-C300-001
MF-C300-005
MF-C300-020
MF-C300-050
MF-C300-100
MF-C300-200
MF-C300-500
MF-C300-101
MFC-FC-A05
MFC-FC-001
MFC-FC-005
MFC-FC-020
MFC-FC-050
MFC-FC-100
MFC-FC-200
MF-C500-A01
MF-C500-A05
MF-C500-001
MF-C500-005
MF-C500-020
MF-C500-050
MF-C500-100
MF-C500-200
流量範圍
(L/min)
0.01
0.05
0.5
5
2
10
0.1
20
50
200
800
500
100
0.01
0.05
0.5
5
2
10
0.1
20
50
100
0.01
0.05
0.5
5
2
-10
0.1
20
0.01
0.05
0.5
5
2
10
0.1
20
高階型
用於有毒有害腐蝕性氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氦氣、氫氣、
甲烷、氬氣等
高階型
用於有毒有害腐蝕性氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氫氣、甲烷、
氨氣、矽烷、三氯化硼、
氯氣等
經濟型
用於一般半導體氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氦氣、氫氣
甲烷、氬氣等
經濟型
用於一般半導體氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氦氣、氫氣
甲烷、氬氣等
1.0%F.S.＜50slm
1.5%F.S.≤100slm
且≥50slm
2.0%F.S.＞100slm
0.8%F.S.
或
1.0%S.P.
取更大者
±0.3%F.S.
±1.0%S.P.
(≤30%F.S.)
(＞30%F.S.)
±0.3%F.S.
±1.0%S.P.
(≤30%F.S.)
(＞30%F.S.)
≤±0.2%F.S.
≤±0.2%F.S.
≤±0.2%F.S.
≤±0.2%F.S.
精度
80
79
電控類
驅動類組件系列
CVAR
系列真空電控比例閥
接管口徑
Rc/NPT/PF
型式
使用壓力範圍
(kPa)
CVAR-2900
3/8
1/4
DC24V-2.5 ~ -80
電源電壓 監控輸出
電流型DC4~20mA
電壓型DC0~5V
電壓型DC0~10V
NPN輸出
PNP輸出
類比DC1~5V
類比DC4~20mA
輸入訊號
SCAN ME
±5%F.S.
壓力控制精度
CVTR
系列電控比例閥
接管口徑
型式
使用壓力範圍
kgf/cm² (kPa)
CVTR-201
CVTR-301
CVTR-101
CVTR-205
CVTR-305
CVTR-105
CVTR-209
CVTR-309
CVTR-109
1/4
1/8
3/8
1/4
3/8
1/2
1/4
DC24V
0.05~1 (5~100)
0.05~5 (5~500)
0.05~5 (5~500)
0.05~5 (5~500)
0.05~9 (5~900)
0.05~9 (5~900)
0.05~9 (5~900)
0.05~1 (5~100)
0.05~1 (5~100)
電源電壓 監控輸出
電流型
DC4~20mA
電壓型
DC0~5V
電壓型
DC0~10V
NPN輸出
PNP輸出
類比DC0.5~4.5V
僅適用規格
類比

類比DC4~20mA
輸入訊號
SCAN ME
±2%F.S.
壓力控制精度
註、、為特規品
電控類
驅動類組件系列
⁄
安全須知
單位表
簡介
產品體系
閥
類
藥液閥類
機械夾爪類
機加工類
接
頭
類
配
件
類
真空

吸盤類
⁄
氣
缸
類
調
理
類
電
控
類
電動缸類
CMAA500
系列薄型真空電控比例閥
單體型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
kPa
CMAA-500 Ø4/(Ø5/32") DC24V ±1.5%F.S.-80
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
註為特規品
CMTB500
系列薄型電控比例閥
聯座型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
MPa
CMTB-501
CMTB-505
CMTB-509
聯座單體：
øø
聯座側板：
øø
DC24V ±5%F.S.
0.001~0.1
0.001~0.5
0.001~0.9
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
CMAB500
系列薄型真空電控比例閥
聯座型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
kPa
CMAB-500
聯座單體：
øø
聯座側板：
øø
DC24V ±1.5%F.S.-80
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
註為特規品
CMTA500
系列薄型電控比例閥
單體型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
MPa
CMTA-501
CMTA-505
CMTA-509
Ø4/(Ø5/32") DC24V ±5%F.S.
0.001~0.1
0.001~0.5
0.001~0.9
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
MF
系列質量流量計控制器
RS-485
4~20mA
RS-485
0~5 V
EtherCAT
RS-485
氣體種類 電源電壓
重複精度
數位通信
DC24V
DC24V
DC24V
DC24V
SCAN ME
N
E
W
CVFR
系列流量電控比例閥
連接口徑
型式
設定流量範圍
L/min
CVFR-500 Ø8 DC24V ±3%F.S.0~50
電源電壓
流量控制精度
輸出訊號
電流型
電壓型
電壓型
錯誤
錯誤
開關錯誤
開關錯誤
輸入訊號
SCAN ME
N
E
W
型式
MFM-FC-A01
MFM-FC-A05
MFM-FC-001
MFM-FC-005
MFM-FC-020
MFM-FC-050
MFM-FC-100
MFM-FC-200
MFM-FC-500
MFM-FC-101
MFM-FC-201
MFM-FC-501
MFM-FC-801
MFC-FC-A01
MF-C300-A01
MF-C300-A05
MF-C300-001
MF-C300-005
MF-C300-020
MF-C300-050
MF-C300-100
MF-C300-200
MF-C300-500
MF-C300-101
MFC-FC-A05
MFC-FC-001
MFC-FC-005
MFC-FC-020
MFC-FC-050
MFC-FC-100
MFC-FC-200
MF-C500-A01
MF-C500-A05
MF-C500-001
MF-C500-005
MF-C500-020
MF-C500-050
MF-C500-100
MF-C500-200
流量範圍
(L/min)
0.01
0.05
0.5
5
2
10
0.1
20
50
200
800
500
100
0.01
0.05
0.5
5
2
10
0.1
20
50
100
0.01
0.05
0.5
5
2
-10
0.1
20
0.01
0.05
0.5
5
2
10
0.1
20
高階型
用於有毒有害腐蝕性氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氦氣、氫氣、
甲烷、氬氣等
高階型
用於有毒有害腐蝕性氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氫氣、甲烷、
氨氣、矽烷、三氯化硼、
氯氣等
經濟型
用於一般半導體氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氦氣、氫氣
甲烷、氬氣等
經濟型
用於一般半導體氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氦氣、氫氣
甲烷、氬氣等
1.0%F.S.＜50slm
1.5%F.S.≤100slm
且≥50slm
2.0%F.S.＞100slm
0.8%F.S.
或
1.0%S.P.
取更大者
±0.3%F.S.
±1.0%S.P.
(≤30%F.S.)
(＞30%F.S.)
±0.3%F.S.
±1.0%S.P.
(≤30%F.S.)
(＞30%F.S.)
≤±0.2%F.S.
≤±0.2%F.S.
≤±0.2%F.S.
≤±0.2%F.S.
精度