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80 79 電控類 驅動類組件系列 CVAR 系列真空電控比例閥 接管口徑 Rc/NPT/PF 型式 使用壓力範圍 (kPa) CVAR-2900 3/8 1/4 DC24V -2.5 ~ -80 電源電壓 監控輸出 電流型 DC4~20mA 電壓型 DC0~5V 電壓型 DC0~10V NPN 輸出 PNP 輸出 類比 DC1~5V 類比 DC4~20mA 輸入訊號 SCAN ME ±5%F.S. 壓力控制精度 CVTR 系列…

100%1 / 128
80
79
電控類
驅動類組件系列
CVAR
系列真空電控比例閥
接管口徑
Rc/NPT/PF
型式
使用壓力範圍
(kPa)
CVAR-2900
3/8
1/4
DC24V-2.5 ~ -80
電源電壓 監控輸出
電流型DC4~20mA
電壓型DC0~5V
電壓型DC0~10V
NPN輸出
PNP輸出
類比DC1~5V
類比DC4~20mA
輸入訊號
SCAN ME
±5%F.S.
壓力控制精度
CVTR
系列電控比例閥
接管口徑
型式
使用壓力範圍
kgf/cm² (kPa)
CVTR-201
CVTR-301
CVTR-101
CVTR-205
CVTR-305
CVTR-105
CVTR-209
CVTR-309
CVTR-109
1/4
1/8
3/8
1/4
3/8
1/2
1/4
DC24V
0.05~1 (5~100)
0.05~5 (5~500)
0.05~5 (5~500)
0.05~5 (5~500)
0.05~9 (5~900)
0.05~9 (5~900)
0.05~9 (5~900)
0.05~1 (5~100)
0.05~1 (5~100)
電源電壓 監控輸出
電流型
DC4~20mA
電壓型
DC0~5V
電壓型
DC0~10V
NPN輸出
PNP輸出
類比DC0.5~4.5V
僅適用規格
類比

類比DC4~20mA
輸入訊號
SCAN ME
±2%F.S.
壓力控制精度
註、、為特規品
電控類
驅動類組件系列
⁄
安全須知
單位表
簡介
產品體系
閥
類
藥液閥類
機械夾爪類
機加工類
接
頭
類
配
件
類
真空

吸盤類
⁄
氣
缸
類
調
理
類
電
控
類
電動缸類
CMAA500
系列薄型真空電控比例閥
單體型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
kPa
CMAA-500 Ø4/(Ø5/32") DC24V ±1.5%F.S.-80
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
註為特規品
CMTB500
系列薄型電控比例閥
聯座型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
MPa
CMTB-501
CMTB-505
CMTB-509
聯座單體：
øø
聯座側板：
øø
DC24V ±5%F.S.
0.001~0.1
0.001~0.5
0.001~0.9
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
CMAB500
系列薄型真空電控比例閥
聯座型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
kPa
CMAB-500
聯座單體：
øø
聯座側板：
øø
DC24V ±1.5%F.S.-80
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
註為特規品
CMTA500
系列薄型電控比例閥
單體型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
MPa
CMTA-501
CMTA-505
CMTA-509
Ø4/(Ø5/32") DC24V ±5%F.S.
0.001~0.1
0.001~0.5
0.001~0.9
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
MF
系列質量流量計控制器
RS-485
4~20mA
RS-485
0~5 V
EtherCAT
RS-485
氣體種類 電源電壓
重複精度
數位通信
DC24V
DC24V
DC24V
DC24V
SCAN ME
N
E
W
CVFR
系列流量電控比例閥
連接口徑
型式
設定流量範圍
L/min
CVFR-500 Ø8 DC24V ±3%F.S.0~50
電源電壓
流量控制精度
輸出訊號
電流型
電壓型
電壓型
錯誤
錯誤
開關錯誤
開關錯誤
輸入訊號
SCAN ME
N
E
W
型式
MFM-FC-A01
MFM-FC-A05
MFM-FC-001
MFM-FC-005
MFM-FC-020
MFM-FC-050
MFM-FC-100
MFM-FC-200
MFM-FC-500
MFM-FC-101
MFM-FC-201
MFM-FC-501
MFM-FC-801
MFC-FC-A01
MF-C300-A01
MF-C300-A05
MF-C300-001
MF-C300-005
MF-C300-020
MF-C300-050
MF-C300-100
MF-C300-200
MF-C300-500
MF-C300-101
MFC-FC-A05
MFC-FC-001
MFC-FC-005
MFC-FC-020
MFC-FC-050
MFC-FC-100
MFC-FC-200
MF-C500-A01
MF-C500-A05
MF-C500-001
MF-C500-005
MF-C500-020
MF-C500-050
MF-C500-100
MF-C500-200
流量範圍
(L/min)
0.01
0.05
0.5
5
2
10
0.1
20
50
200
800
500
100
0.01
0.05
0.5
5
2
10
0.1
20
50
100
0.01
0.05
0.5
5
2
-10
0.1
20
0.01
0.05
0.5
5
2
10
0.1
20
高階型
用於有毒有害腐蝕性氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氦氣、氫氣、
甲烷、氬氣等
高階型
用於有毒有害腐蝕性氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氫氣、甲烷、
氨氣、矽烷、三氯化硼、
氯氣等
經濟型
用於一般半導體氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氦氣、氫氣
甲烷、氬氣等
經濟型
用於一般半導體氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氦氣、氫氣
甲烷、氬氣等
1.0%F.S.＜50slm
1.5%F.S.≤100slm
且≥50slm
2.0%F.S.＞100slm
0.8%F.S.
或
1.0%S.P.
取更大者
±0.3%F.S.
±1.0%S.P.
(≤30%F.S.)
(＞30%F.S.)
±0.3%F.S.
±1.0%S.P.
(≤30%F.S.)
(＞30%F.S.)
≤±0.2%F.S.
≤±0.2%F.S.
≤±0.2%F.S.
≤±0.2%F.S.
精度
80
79
電控類
驅動類組件系列
CVAR
系列真空電控比例閥
接管口徑
Rc/NPT/PF
型式
使用壓力範圍
(kPa)
CVAR-2900
3/8
1/4
DC24V-2.5 ~ -80
電源電壓 監控輸出
電流型DC4~20mA
電壓型DC0~5V
電壓型DC0~10V
NPN輸出
PNP輸出
類比DC1~5V
類比DC4~20mA
輸入訊號
SCAN ME
±5%F.S.
壓力控制精度
CVTR
系列電控比例閥
接管口徑
型式
使用壓力範圍
kgf/cm² (kPa)
CVTR-201
CVTR-301
CVTR-101
CVTR-205
CVTR-305
CVTR-105
CVTR-209
CVTR-309
CVTR-109
1/4
1/8
3/8
1/4
3/8
1/2
1/4
DC24V
0.05~1 (5~100)
0.05~5 (5~500)
0.05~5 (5~500)
0.05~5 (5~500)
0.05~9 (5~900)
0.05~9 (5~900)
0.05~9 (5~900)
0.05~1 (5~100)
0.05~1 (5~100)
電源電壓 監控輸出
電流型
DC4~20mA
電壓型
DC0~5V
電壓型
DC0~10V
NPN輸出
PNP輸出
類比DC0.5~4.5V
僅適用規格
類比

類比DC4~20mA
輸入訊號
SCAN ME
±2%F.S.
壓力控制精度
註、、為特規品
電控類
驅動類組件系列
⁄
安全須知
單位表
簡介
產品體系
閥
類
藥液閥類
機械夾爪類
機加工類
接
頭
類
配
件
類
真空

吸盤類
⁄
氣
缸
類
調
理
類
電
控
類
電動缸類
CMAA500
系列薄型真空電控比例閥
單體型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
kPa
CMAA-500 Ø4/(Ø5/32") DC24V ±1.5%F.S.-80
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
註為特規品
CMTB500
系列薄型電控比例閥
聯座型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
MPa
CMTB-501
CMTB-505
CMTB-509
聯座單體：
øø
聯座側板：
øø
DC24V ±5%F.S.
0.001~0.1
0.001~0.5
0.001~0.9
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
CMAB500
系列薄型真空電控比例閥
聯座型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
kPa
CMAB-500
聯座單體：
øø
聯座側板：
øø
DC24V ±1.5%F.S.-80
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
註為特規品
CMTA500
系列薄型電控比例閥
單體型
連接口徑
型式
設定壓力範圍
MPa
CMTA-501
CMTA-505
CMTA-509
Ø4/(Ø5/32") DC24V ±5%F.S.
0.001~0.1
0.001~0.5
0.001~0.9
電源電壓
壓力控制精度
監控輸出
電流型
電壓型
電壓型
類比

類比
輸入訊號
SCAN ME
MF
系列質量流量計控制器
RS-485
4~20mA
RS-485
0~5 V
EtherCAT
RS-485
氣體種類 電源電壓
重複精度
數位通信
DC24V
DC24V
DC24V
DC24V
SCAN ME
N
E
W
CVFR
系列流量電控比例閥
連接口徑
型式
設定流量範圍
L/min
CVFR-500 Ø8 DC24V ±3%F.S.0~50
電源電壓
流量控制精度
輸出訊號
電流型
電壓型
電壓型
錯誤
錯誤
開關錯誤
開關錯誤
輸入訊號
SCAN ME
N
E
W
型式
MFM-FC-A01
MFM-FC-A05
MFM-FC-001
MFM-FC-005
MFM-FC-020
MFM-FC-050
MFM-FC-100
MFM-FC-200
MFM-FC-500
MFM-FC-101
MFM-FC-201
MFM-FC-501
MFM-FC-801
MFC-FC-A01
MF-C300-A01
MF-C300-A05
MF-C300-001
MF-C300-005
MF-C300-020
MF-C300-050
MF-C300-100
MF-C300-200
MF-C300-500
MF-C300-101
MFC-FC-A05
MFC-FC-001
MFC-FC-005
MFC-FC-020
MFC-FC-050
MFC-FC-100
MFC-FC-200
MF-C500-A01
MF-C500-A05
MF-C500-001
MF-C500-005
MF-C500-020
MF-C500-050
MF-C500-100
MF-C500-200
流量範圍
(L/min)
0.01
0.05
0.5
5
2
10
0.1
20
50
200
800
500
100
0.01
0.05
0.5
5
2
10
0.1
20
50
100
0.01
0.05
0.5
5
2
-10
0.1
20
0.01
0.05
0.5
5
2
10
0.1
20
高階型
用於有毒有害腐蝕性氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氦氣、氫氣、
甲烷、氬氣等
高階型
用於有毒有害腐蝕性氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氫氣、甲烷、
氨氣、矽烷、三氯化硼、
氯氣等
經濟型
用於一般半導體氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氦氣、氫氣
甲烷、氬氣等
經濟型
用於一般半導體氣體
空氣、氮氣、氧氣、
二氧化碳、氦氣、氫氣
甲烷、氬氣等
1.0%F.S.＜50slm
1.5%F.S.≤100slm
且≥50slm
2.0%F.S.＞100slm
0.8%F.S.
或
1.0%S.P.
取更大者
±0.3%F.S.
±1.0%S.P.
(≤30%F.S.)
(＞30%F.S.)
±0.3%F.S.
±1.0%S.P.
(≤30%F.S.)
(＞30%F.S.)
≤±0.2%F.S.
≤±0.2%F.S.
≤±0.2%F.S.
≤±0.2%F.S.
精度
82
81
電控類
驅動類組件系列
電控類
驅動類組件系列
⁄
安全須知
單位表
簡介
產品體系
閥
類
藥液閥類
機械夾爪類
機加工類
接
頭
類
配
件
類
真空

吸盤類
⁄
氣
缸
類
調
理
類
電
控
類
電動缸類
FC 系列數字式流量傳感器熱質型
輸出規格
FCS-005
FCS-100
FCS-200
FCM-500
FCM-101
FCM-201
FCH-501
FCH-102
0~0.5 1mL/min
0.01L/min
0.1L/min
1L/min
0~10
0~20
0~50
0~100
0~200
0~500
0~1000
FCS-020 0~2
DC-24V
Ø4，Ø6
Ø6，Ø8
Ø6
Ø8
PT1/2
表示分解率連接口徑供應電壓型式
NPN輸出
PNP輸出
類比
類比
SCAN ME
流量範圍
(L/min)
FU 系列夾鉗式超音波流量計
消費電流
FU-D6
FU-D10
FU-D15
FU-D20
FU-D25
FU-D32
FU-D40
FU-D50
0.2~20
RS-485
0.57~50
0.92~70
1.36~150
2.71~200
4.24~330
6.8~460
9.54~700
FU-D8 0.44~30
Ø9.53
Ø15
Ø20
Ø25
Ø32
Ø40
Ø50
Ø63
Ø12.7
DC-24V<3W
數位通信
液體類
無氣泡殘留
之液體
流體種類
±
流量感
測精度
夾管管徑 電源電壓型式
SCAN ME
流量範圍
(L/min)
N
E
W
FPZ
系列大型流量傳感器
差壓型
流量範圍
型式
設定壓力
範圍
(bar)
(L/min) PT
FPZ-302
FPZ-402 NPN輸出
PNP輸出
±3%F.S. ±1%F.S.1 ~ 7
FPZ-602
FPZ-802
3000
4000
6000
1
1½
8000
連接口徑 流量感
測精度
壓力感
測精度
電源電壓消費電流開關輸出
DC24V50mA以下
SCAN ME
N
E
W
WI
系列手機無線通訊模組
適用機種型式
WI-FC
WI-FP
藍芽App
WI-FI
±3%F.S.WI-FPF
WI-FPZ
WI-FPG
FC
FP
FPF
FPZ
FPG
流量感測精度 電源電壓消費電流數位通信
DC24V30mA以下
SCAN ME
N
E
W
FPG
系列模組型流量傳感器
差壓型
SCAN ME
FPG-U2
FPG-U3
NPN輸出
PNP輸出
±3%F.S. ±1%F.S.1 ~ 7
FPG-U4
1000
2000
3000
PT1/4
PT3/8
PT1/2
DC24V50mA以下
連接口徑型式
流量範圍
(L/min)
電源電壓開關輸出 消費電流
設定壓力
範圍
(bar)
流量感
測精度
壓力感
測精度
N
E
W
FP
系列數字式流量傳感器
差壓型
連接口徑
型式
流量範圍
(L/min)
FPS-100
FPS-200
FPM-500
FPM-101
FPM-201
FPH-501
FPH-102
Ø4, Ø6
Ø4, Ø6
Ø6, Ø8
DC24V50mA以下
10
20
Ø8100
PT 1/2500
Ø8200
PT 1/21000
50
電源電壓
1 ~ 7
設定壓力
範圍
(bar)
消費電流
2 NPN
2 PNP
開關輸出
±3%F.S.
流量感
測精度
SCAN ME
註電流為特規品
FP-D
系列數字式分離型流量傳感器
差壓型
接管口徑

型式
流量範圍
(L/min)
FPS-D
FPH-D
DC24V±3%F.S.
10, 20
FPM-D 50, 100, 200
500, 1000
Ø4, Ø6
Ø6, Ø8
PT1/2
電源電壓流量感測精度 開關輸出
2 NPN
2 PNP
消費電流
50mA以下
SCAN ME
FPX
系列數字式大型流量傳感器
差壓型
接管口徑

型式
流量範圍
(L/min)
FPX-302
FPX-402
1” DC24V ±3%F.S.
30-3000
40-4000
電源電壓 流量感測精度 輸出規格
NPN輸出
PNP輸出
類比
類比
類比
SCAN ME
FPF
系列壓力流量傳感器
連接
口徑
型式
流量範圍
(L/min)
FPF-100
FPF-200
FPF-500
FPF-101
FPF-201
FPF-501
FPF-102
Ø4, Ø6
Ø4, Ø6
Ø6, Ø8
50mA以下
2 NPN
2 PNP
±3%F.S.
-10~10
-20~20
Ø8
-100~100
PT1/2
-500~500
Ø8
-200~200
PT1/2-1000~1000
-50~50
開關輸出 電源電壓
流量感
測精度
±1%F.S.
壓力感
測精度
消費電流
DC24V
SCAN ME
N
E
W
設定壓力
範圍
bar)
1 ~ 7
FC2 系列數字式流量傳感器熱質型
輸出規格
FC2S-005
FC2S-100
FC2S-200
FC2M-500
FC2M-101
FC2M-201
FC2H-501
FC2H-102
0~0.5 1mL/min
0.01L/min
0.1L/min
1L/min
0~10
0~20
0~50
0~100
0~200
0~500
0~1000
FC2S-020 0~2
DC-24V
Ø4，Ø6
Ø6，Ø8
Ø6
Ø8
PT1/2
表示分解率連接口徑供應電壓型式
NPN輸出
PNP輸出

SCAN ME
流量範圍
(L/min)
N
E
W