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MEMO

1003-001

CONTENTS-1

CONTENTS-1

GS-IB100

Fig. E1

バッドマーク検出 ( センサ方式 )

BAD BOARD REJECT FUNCTION

Fig. G1

バッドマーク検出 ( センサ方式 )

BAD BOARD REJECT FUNCTION

MEMO

CONTENTS

Fig. E1

バッドマーク検出（センサ方式）

BAD BOARD REJECT

FUNCTION

Fig. E1-4 X

ビームユニット

X Beam Unit

1003-001

Fig. E1