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思泰克光电 SPI 特点 可编程结构光栅技术（ PSLM PMP ）【专利授权】 可编程结构光栅技术（PSL M PMP ）采用的是德国尖端技术的PS LM 部件。 1）通过软件调制光栅周期。可以提供不同的结构光栅周期。 2）通过软件控制结构光栅的相位变化，无任何的机械传动部件。无损耗。 3）可以在不增加任何部件的情况下，调整有效检测高度。（40 0u m到 120 0u m软件可调） 4）可编程结构光栅因为其正弦光栅是通过软件编程实现…
思泰克光电SPI特点
可编程结构光栅技术（PSLM PMP）【专利授权】
InSPIre采用可编程的光闸成像方式(PSLM)，实现了对结构光栅的软件调制
及控制。
增强了对不同精度要求的适应能力。
没有机械部件，大大减少了设备的故障几率，降低维修成本。
PZT马达机械驱动固定
的玻璃摩尔纹光栅
PSLM软件调制光栅精
度及软件驱动
思泰克光电SPI特点
可编程结构光栅技术（PSLM PMP）【专利授权】
可编程结构光栅技术（PSLM PMP）采用的是德国尖端技术的PSLM
部件。
1）通过软件调制光栅周期。可以提供不同的结构光栅周期。
2）通过软件控制结构光栅的相位变化，无任何的机械传动部件。无损耗。
3）可以在不增加任何部件的情况下，调整有效检测高度。（400um到
1200um软件可调）
4）可编程结构光栅因为其正弦光栅是通过软件编程实现的，所以其在相
移时也是通过软件来实现，通过此种技术可以使相移误差趋向于“0”，
提高了量测精度。
思泰克光电SPI特点
可编程结构光栅技术（PSLM PMP）【专利授权】
常规的结构光栅技术采用的是陶瓷压电马达（PZT）驱动摩尔纹
结构光栅玻璃来实现结构光栅的相位变化。
1）摩尔纹结构光栅玻璃是固定的光栅周期。只能采用固定的光栅周期。
2）PZT通过机械拨杆驱动结构光栅玻璃，随着使用时间的增加，机械磨损
无法避免。精度不断下降，维护成本也逐年提高。
• 由陶瓷压电马达(PZT)通过机械传动装置驱
动
1个
FOV
8次
采样
7次相位
变化
7次机械
驱动
• 以单个产品共计30个FOV，每天5K产量计算，每年220个工作日为例：
每天机械驱动次数：5,000 x 30 x 7 = 1,050,000 次
每年机械驱动次数：1,050,000 x 220 = 231,000,000次
机械磨损造成相位变化误差是在所难免的。维护成本随着使用频率逐年
增加
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