M3plus_OperationManual_j.pdf - 第83页
3- 18 3 3. 基板情報を作る 9 マーク 2 フィデューシャルマーク 2 に使用するマーク番号（マーク情報に登録したマーク）を入力します。 マーク 1 と同じであるなら、 「0 」でもかまいません。 n 要点 マークのXY座標は [ティーチ]ボタンでティーチングすることもできますが、この座標データはの正確 さは搭載精度に影響しますので、正確な設計データを利用して入力することをお勧めします…
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3. 基板情報を作る
3.4 フィデューシャルパラメーター
フィデューシャル機能とは、基板上に設置されたフィデューシャルマークの認識結果から基板の基
準穴または外形加工誤差、基板固定機構から生じる誤差、基板上の局所的な歪みを補正する機能で
す。ここでは、フィデューシャル機能を使うためのフィデューシャルマークを設定します。フィ
デューシャルマークは 2 点または 4 点を 1 組とし、それぞれのマークの形状が異っていても構いま
せん。使用するフィデューシャルマークのデータは、前もってマーク情報に登録しておく必要があ
ります。（本章の「5. マーク情報を作る」を参照。）
4
1
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3
フィデューシャルマークパラメーター画面
26409-E5-20
1 基板、ブロック、ローカル
フィデューシャル機能には大きく分けて、基板単位で設定する「基板」フィデューシャル、割り
基板のブロック単位で設定する「ブロック」フィデューシャル、搭載データ単位で設定する
「ローカル」フィデューシャルがあります。有効にしたいフィデューシャル機能を「実行する」に
設定します。変更するときは、[編集]ボタンを押してください。
2 基板
パラメーターリストの最上行には、基板フィデューシャルマークを設定をします。
3 ブロック
パラメーターリストの 2 行目には、ブロックフィデューシャルマークを設定をします。
4 パターン名称
フィデューシャルマークの名称を入力します。（１行目と２行目には入力できません。）
5 種類
パラメーターリストの３行目以降にローカルフィデューシャル機能の種類を指定します。「ポイン
ト」、「ローカル」、「4 ローカルメイン」、「4 ローカルサブ」から選択します。
6 X1, Y1
フィデューシャルマーク 1 の基板原点から XY 座標を入力します。[ティーチ]ボタンでティーチン
グすることもできます。
7 マーク１
フィデューシャルマーク 1 に使用するマーク番号（マーク情報に登録したマーク）を入力します。
8 X2, Y2
フィデューシャルマーク 2 の基板原点からの XY 座標を入力します。[ティーチ]ボタンでティーチ
ングすることもできます。
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3. 基板情報を作る
9 マーク 2
フィデューシャルマーク 2 に使用するマーク番号（マーク情報に登録したマーク）を入力します。
マーク 1 と同じであるなら、「0」でもかまいません。
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要点
マークのXY座標は [ティーチ]ボタンでティーチングすることもできますが、この座標データはの正確
さは搭載精度に影響しますので、正確な設計データを利用して入力することをお勧めします。
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3. 基板情報を作る
3.4.1 基板フィデューシャル機能
基板フィデューシャル機能は、2 個 1 組のフィデューシャルマークを使って、基板全体を位置補正
する機能です。特に基板固定のバラツキに対して有効です。基板全体に対して 1 対のフィデュー
シャルマークが必要です。下図のように、基板原点からのマーク１とマーク 2 の XY 座標 (mm) を
入力します。
マーク1 (X1, Y1)
マーク2 (X2, Y2)
基板フィデューシャル
基板原点
22409-5E-00
3.4.2 ブロックフィデューシャル機能
ブロックフィデューシャル機能は、各ブロックを 2 個 1 組のフィデューシャルマークを使って位置
補正する機能です。特に基板固定のバラツキに対して有効です。各ブロック毎に 1 対のフィデュー
シャルマークが必要です。下図のように、基準ブロックの基板原点からのマーク１とマーク 2 の
XY 座標 (mm) を入力します。
マーク1 (X1, Y1)
マーク2 (X2, Y2)
基準ブロック原点
ブロックフィデューシャル
ブロック 2
22410-5E-10
c
注意
ブロックフィデューシャル機能は、オフセット情報の「ブロックフィデューシャル」が設定されてい
る基板データ（ブロックオフセット機能を使っている割基板データ）のみに使用することができま
す。