YS100_Mainte_K.pdf - 第75页

3-10 3 2. 매월 2. 1 노 즐 에어 경로 의 청소 일 상 적 인 점 검 에 서 노 즐 막 힘 의 경 향 이 보 일 경 우 , 또 는 매 월 을 기 준 으로 다 음 과 같 이 노 즐 에 어 경 로 를 청 소 합 니 다. e 1 노즐을 탈착 합 니 다 . 1 . 비상정 지 버 튼을 누 르고 , 장비의 안전커버 를 오픈합 니다 . 2. 헤 드로 부터 청소 할 노즐을 탈착합니 다 . 노 즐…

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3-9
3
1.4 클램프태와 작확인
1.4.1 기판 램프상태
품종, 산품 , 1 으로 다음같이
.
1. 기판클램했을 때에 , 기판에 반동 .
2. 기판클램프 했을 , 판누름 플레이판과
사이에 틈새 .
3. 기판클램프 했을 , 이어 레일 상면과 기판
단차발생않을 .
4. 기판클램프 유니트가 원활하게 작동할 .
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n
요점
의 1~3 이 NG 일 경우에 , 기판누름 플와 푸쉬
의 수량과 위가 적지 확인해 주십 .
판누름 플레의 고가 느할 경우에 , 단단히
해 주십 .
4 가 NG 일 경 , 다음의 기판 클프의 동작 확
해 주십 .
1.4.2 기클램프확인
e
1
준비를 합니다 .
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전커버
오픈합니다 .
2. 사양의 경우는 , 대차를 탈착합니 .
2
클램프 드를 상승시킵니다 .
1. 컨베어상에 기판이 에서 ,
「장치」-「컨베」화[ 클램 ]
버튼을 릅니다 .
2. 클램보드가 원활하우침없상승되
육안으로 확인해 주 .
3
클램프 드를 강시킵니 .
1. [ 기판 클램 ] 튼을 눌러서 , 클램프
드를 강시킵니다 .
2. 클램보드가 원활하우침없하강
육안으로 확인해 주 .
4
클램프 반복합니 .
상기 Step2~3 클램 / 클램반복
해서 안정하동작되확인합니 .
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n
요점
판 클프 동작이 원활하지 않을 경우에 , 판매 대
는 야로 연락해 주십 .
클램프 상태의 확인
기판누름 플레이트와의 틈새가 없을 것.
클램프시, 단차가 없는 것을 확인한다.
클램프와 언클램프를
실행해서, 확인한다.
클램프 동작의 확인
Step 2-4
[기판 클램프] 버튼
원활하게 상하로 동작
좌우의 치우침이 없을 것
기판 클램프 보드
3-10
3
2. 매월
2.1 에어경로청소
, 으로
다.
e
1
노즐을 탈착 .
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전커버
오픈합니다 .
2. 드로 부터 청소노즐을 탈착합니 .
스테이션우는 ,
[ 노즐 STN 셔터 ] 으로 스테이션
셔터열어서 노즐을 탈착해 .
2
에어블로우 합니다 .
즐내부를 즐의 사이드에서 에어
불어 .
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n
요점
움이 심할 경우는 , 하의 Step3, 4 를 실해 주십 .
3
노즐구멍을 합니다 .
즐구멍에 노즐청소용 와이어과시켜서 청소
주십시 . 우측 그림같이 손가락에 끼우
용핸들을 용해하고 노즐
움직여청소합니다 .
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4
에어블로우 합니다 .
에서 과시즐청소용 와이어 , 노즐
부를 Step2 똑같
십시오 .
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5
노즐을 되돌립니다 .
탈착한 즐을 드의 원위되돌려 주 .
n
요점
즐 스서 노즐을 탈한 경우에 , 노즐 스
납 위에 되돌려 주십 .
Step 2
에어 블로우
노즐 선단측에
끼워서 블로우
에어튜브(검은색)
에어블로우 툴
(옵션)
에어튜브(오렌지색)
에어공급부에
노즐 장착부에서
블로우
Step 3
노즐 구멍의 청소
전용핸들
(옵션)
노즐 노즐청소용 와이어
Step 4
에어 블로우
노즐 에어 블로우 툴
(옵션)
3-11
3
2.2 FNC 즐의 청소
2.2.1 FNC 노즐 ASSY 분해
FNC .
1
원점복귀를 합니다 .
안전확인하 , 셋업화면의 [ 원점복귀 ] 버튼
눌러 주십시 .
2
노즐을 환합니다 .
FNC 헤드장착되3 종류의 노즐 중에서 ,
중간의 교환합니 .
[ 장치 ] -「헤」화면의 [ 즐변경 ] 튼을 눌러
, FNC (헤드 2, 4, 6, 8「Type-
302F(312F, 313F)」노즐교환해 주십시 .
n
요점
의 사양에 따, 중의 노즐 타이 다릅.
에 사양을 확해 주십 .
e
3
헤드를 정면 앞쪽으이동시킵니다 .
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전
오픈합니다 .
2. 정면 앞쪽으로 이동시켜 주십시 .
4
스톱퍼 록을 슬라이드 시킵니 .
1. 각렌치 (1.5) 스톱퍼 블록을 고정하고
풉니 .
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2. 스톱블록을 옆에서 밀어서 슬라드시켜
십시오 .
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5
FNC ASSY 샤프트부뺍니다 .
즐을 지탱면서 , 베벨어에 장착되어
샤프트어와 함께 으로 당겨서 빼
십시오 .
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Step 4-1
스톱퍼 블록의 고정볼트 풀기
육각렌치(1.5)
스톱퍼 블록
Step 4-2
스톱퍼 블록을 슬라이드 시킨다
스톱퍼 블록을 슬라이드 시킨다
Step 5
샤프트부를 뺀다
베벨기어와 샤프트를 당겨서 뺀다