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3-28 3 4 벨 트를 느슨하 게 합 니다 . 1 . 컨베 이 어 벨 트 를 느 슨 하 게 하기 전에 , 현재 의 풀 리 의 위 치 를 유성펜 으로 마 킹 합니다 . 2. 다음 그 림 을 참 고 해 서 , 텐 션 이 걸 려 있 는 풀리 의 고 정 볼 트를 육각렌 치 (5 ) 와 육각 렌 치 ( 4) 로 풉니 다 . 3. 벨 트가 풀리 는 방 향으로 벨 트를 이동 시킵 니 다 . 컨베이어 벨…

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3.3 기판 반송부의 점검
3.3.1 컨베이어 벨트의 점검과 청소
벨트 반송면의 마모가 심해지면 , 미끄러짐이 발생해서 기판의 반송이 안정되지 않게 됩니다. 따라서 , 정기적으
로 컨베이어 벨트의 마모 상태를 확인할 필요가 있습니다.
그리고 , 벨트의 마모로 인해서 컨베이어 센서의 수광면에 마모 가루가 쌓이면 기판 오검출 등의 트러블이 발생할
가능성이 있는 한편, 벨트의 가이드부나 풀리의 외주부에 마모 가루가 쌓이면 벨트가 고착될 우려가 있습니다.
다음과 같이, 컨베이어 벨트의 마모 상태를 점검해 주십시오 .
1
컨베이어 폭을 변경합니다 .
1. [ 컨베이어폭 ] 버튼을 눌러서 ,「컨베이어폭」
변경 화면을 표시합니다 .
2. 「변경후의 컨베이어폭」란에 공구 ( 육각렌치 )
가 들어갈 정도의 수치(200mm)를 입력하고 ,
[OK] 버튼을 눌러 주십시오 .
컨베이어가 지정된 폭으로 변경됩니다 .
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2
작업 준비를 합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 대차 사양의 경우는 , 대차를 탈착합니다 .
3. 사각건을 푸쉬업 플레이트상에 깔아둡니다 .
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3
기판 클램프 보드를 탈착합니다 .
육각렌치 (3) 로 기판 클램프 보드의 고정볼트
( 우측 그림의 4 군데 ) 를 빼고 , 기판 클램프 보드
를 떼어내 주십시오 .
c
주의
우측 그림의 볼트 4 개 이외는 풀거나 빼지 마십시오 .
컨베이어 폭의 변경
Step 1
[컨베이어 폭] 버튼 컨베이어 폭의 입력
Step3
기판 클램프 보드의 탈착
기판 클램프 보드
기판 클램프 보드의 고정볼트

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3
4
벨트를 느슨하게 합니다 .
1. 컨베이어 벨트를 느슨하게 하기 전에 , 현재의 풀리의 위치를 유성펜으로 마킹합니다 .
2. 다음 그림을 참고해서 , 텐션이 걸려 있는 풀리의 고정볼트를 육각렌치 (5) 와 육각렌치 (4) 로 풉니다 .
3. 벨트가 풀리는 방향으로 벨트를 이동시킵니다 .
컨베이어 벨트 풀기
육각렌치 (5) 육각렌치 (4)
풀리의 위치에 마킹
벨트가 풀리는 방향
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5
컨베이어로 부터 벨트를 탈거합니다 .
스플라인 샤프트와 구동용 풀리의 틈새로 컨베이어 벨트를 탈거해 주십시오 .
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컨베이어 벨트를 확인합니다 .
탈거한 벨트의 반송면에 마모나 보풀 등이 유무를 확인해 주십시오 마모나 보풀 등이 심할 경우는 ,
제4장「4. 컨베이어 벨트의 교환」을 참조해서 컨베이어 벨트를 교환해 주십시오 .

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벨트 가이드부와 풀리를 청소합니다 .
1. 벨트 가이드와 센서부 등에 부착된 벨트의 마
모가루는 , 버큠 ASSY( 옵션 ) 로 흡인해 주십
시오 .
2. 풀리 외주면에 벨트의 마모가루가 부착되어 있
을 경우에는 , 플라스틱 헤라로 제거합니다 .
3. 벨트 가이드부에 마모가루가 들어가 있을 경우
에는 , 브러시 등으로 제거해 주십시오 .
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c
주의
헤라와 브러시를 사용할 때에는 , 풀리나 가이드에 상처내지
않도록 , 플라스틱제를 사용해 주십시오 .
c
주의
현저한 더러움 이외에는 용제 (IPA) 를 사용하지 마십시오 .
용제를 사용해야 할 경우에는 , 풀리의 베어링부에 용제가
튀지 않도록 주의해서 청소해 주십시오 .
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컨베이어 벨트를 원상태로 장착합니다 .
1. 벨트를 풀리에 임시로 걸어둡니다 .
2. 텐션 풀리를 Step4 에서 마킹한 위치까지
이동시키고 , 고정볼트를 체결합니다 .
3. 벨트가 느슨할 경우에는 , 텐션 풀리의 위치를
조정해서 벨트의 텐션을 걸어 주십시오 .
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n
요점
본 장비의 컨베이어 벨트의 텐션 규격은 268~316Hz 입니다 .
필요에 따라 텐션 조절기를 사용해서 조정해 주십시오 .
c
주의
텐션 풀리의 고정 볼트 체결 토르크는 5.5N
•
m 입니다 .
심하게 조이지 않도록 주의해 주십시오 .
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기판 클램프 보드를 장착합니다 .
1. 기판 클램프 보드를 원위치에 장착하고 , 육각
렌치 (3) 로 기판 클램프 보드의 고정 볼트를
체결해 주십시오 .
2. 푸쉬업 플레이트상에 깔아둔 사각건을 정리합
니다 .
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벨트 가이드부와 풀리의 청소
Step 7
플라스틱 헤라
벨트 가이드부
벨트의 마모가루 부착브러시
풀리 외주면
텐션 측정 장소
Step 8
텐션 측정 장소
Step9
기판 클램프 보드의 장착
기판 클램프 보드
기판 클램프 보드의 고정볼트