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MODEL GXH-1 0503-003 185 Fig. BG 架台下 XY サーボ電源部 UNDERFRAME XY SER VO POWER SUPPL Y SECTION
MEMO
MODEL GXH-1
0503-003
185
Fig. BG
架台下
XY
サーボ電源部
UNDERFRAME XY SERVO
POWER SUPPLY SECTION
MODEL GXH-1
0409-002
186
74
73
75
62
55
54
56
73
74
75
73
74
75
52
53
61
75
51
72
81
57
60
70
.
71
71
.
70
72
74
73
63
63
75
74
73
59
58
架台下
XY
サーボ電源部
UNDERFRAME XY SERVO
POWER SUPPLY SECTION
Fig. BG-1 200V
電源
200V Power Supply