D3维修保养篇__N7201A588C.pdf - 第221页
NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-0 7 1 传送带 L 、传送带 R1 3 2 打开传送带的 上面盖 OFF SERVO 6-10 -6 定 期 检 查 每 5 6 0 小 时 保 养 使用工具 : 棉棒 (MTNZ0 01268AA) 所需时间 :5 分钟 将传送带宽度调整 为 150 mm (→ 『操作篇』 P.2-5-4) ●为了更有利于操作 顺序 4
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EJM6DC-MB-06M-07
基板传送带 3
8
9
10
11
安装供料器工作台
盖(→P.3-3)
SERVO
ON
安装交换台车
(→P.3-2)
6-10-5
基板检测传感器的清扫 3
维修保养篇
6-10
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EJM6DC-MB-06M-07
1
传送带L、传送带R1
3
2
打开传送带的
上面盖
OFF
SERVO
6-10-6
定
期
检
查
每
5
6
0
小
时
保
养
使用工具:棉棒 (MTNZ001268AA)
所需时间:5 分钟
将传送带宽度调整
为150 mm
(→『操作篇』P.2-5-4)
●为了更有利于操作
顺序
4
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EJM6DC-MB-06M-07
基板检测传感器的清扫 4
传送带L、传送带R2
4
确认基板检测传感器的位置和传感器类型
单型
●基板检测传感器全部都为单型。
检测部
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有2个
基板检测传感器
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维修保养篇
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