D3维修保养篇__N7201A588C.pdf - 第222页
NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-07 基板检测传感器的清扫 4 传送带 L 、传送带 R2 4 确认基板检测传感器的位置和传感器类型 单型 ●基板检测传感器全部都为单型。 检测部 ●基板检测传感器 轨道 1 、 2 的投光侧、受 光侧各有 2 个 基板检测传感器 6-10 -7 维修保养篇 6-10
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-07
1
传送带L、传送带R1
3
2
打开传送带的
上面盖
OFF
SERVO
6-10-6
定
期
检
查
每
5
6
0
小
时
保
养
使用工具:棉棒 (MTNZ001268AA)
所需时间:5 分钟
将传送带宽度调整
为150 mm
(→『操作篇』P.2-5-4)
●为了更有利于操作
顺序
4
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EJM6DC-MB-06M-07
基板检测传感器的清扫 4
传送带L、传送带R2
4
确认基板检测传感器的位置和传感器类型
单型
●基板检测传感器全部都为单型。
检测部
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有2个
基板检测传感器
6-10-7
维修保养篇
6-10
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EJM6DC-MB-06M-07
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清扫基板检测传感器部
【单型的清扫】
检测部
注意
顺序
6
●用棉棒的尖端碰触基板检测传感器的检测部，然
后如下图所示移动棉棒去除附着物。
●在作业时，建议握持棉棒的尖端
附近。
●请通过手感确认到棉棒尖
端接触到检测部后，上下
移动4、5次棉棒进行清扫。
请用棉棒的尖端部 (1 mm左右)蘸上水后再进行清扫。
如果使用干燥的棉棒，有时将无法完全去除附着物。
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定
期
检
查
每
5
6
0
小
时
保
养