D3维修保养篇__N7201A588C.pdf - 第223页

NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-07 5 清扫基板检测传感器部 【单型的清扫】 检测部 注意 顺序 6 ●用棉棒的尖端碰触基板检测传感器 的检测部，然 后如下图所示移动棉棒去除附着物。 ●在作业时，建议握持棉棒的尖端 附近。 ●请通过手感确认到棉棒尖 端接触到检测部后，上下 移动 4 、 5 次棉棒进行清 扫。 请用棉棒的尖端部 (1 mm 左右 ) 蘸上水后再进行清扫。 如果使用干燥的棉棒，有时将无法完 全去除附着物。 6-…