DECAN_L2_Trouble(Chi_Ver6.1).pdf - 第133页
1-111 MMI 错误码 （ Error Code ） 和问题解决 [ 措施 方法 ] 按 ”STOP” 按钮关闭蜂鸣器。 “ 按 ”RESET” 按钮把设备转换成 ”IDLE” 方式 点击 ”READY” 按钮给设 备提供电源。 在 ANC 对话框点击 ’Fiducial Mark Detail …’ 后移动到 Fiducial Mark 位置确认 Fiducial Mark 位置是否准确设置。 如果 位置设置错误请…
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Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Troubleshooting Guide
Check whether a part is picked up by the head spindle nozzle.
选择’System Setup’ 菜单中的 ‘Device’子菜单后，再选择 ’Nozzle’选项，然后在
’Nozzle’对话框中确认’Check Vacuum’值。
从气压表(AIR PRESSURE) 确认压缩气的供应是否正常 (0.45~0.55Mpa)。
1: 压力减少 (逆时针方向)
2:
压力增加 (顺时针方向)
$6030 在Head $H上有吸嘴。但没有进行PUT。 [FREEZE LEVEL]
[原因]
吸嘴PUT动作后，未对准ANC槽的中心或因不适当的高度设定等无法进行吸嘴
ANC动作实际上磁头上存在吸嘴的情况或
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MMI
错误码（
Error Code
）和问题解决
[措施 方法]
按”STOP”按钮关闭蜂鸣器。
“按”RESET”按钮把设备转换成”IDLE”方式
点击”READY”按钮给设备提供电源。
在ANC对话框点击’Fiducial Mark Detail …’后移动到Fiducial Mark位置确认
Fiducial Mark位置是否准确设置。如果位置设置错误请重新进行示教。
首先点击 按钮执行”Position”对话框，在ANC菜单点击’Hole Position Detail
…’后，为确认槽坐标是否准确选择错误发生的 ANC槽，确认要移动的设备是否
选择为”Fid Cam”。
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Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Troubleshooting Guide
还有点击<Move>按钮移动到相应ANC 槽位置确认槽的中心是否与设置的位置
一致。另外，利用示教框手动下降Z轴确认ANC槽坐标的Z值是否准确。
在ANC对话框点击<Shutter On/Off>按钮确认闸门是否正常动作。