DECAN_L2_Trouble(Chi_Ver6.1).pdf - 第135页
1-113 MMI 错误码 （ Error Code ） 和问题解决 $6040 Z 轴没有移动到 PUT 的位置。 [FREEZE LEVEL] [ 原因 ] Z 轴为吸嘴的 PUT 动作下降 （ DOWN ） 时发生错误。 [ 措施 方法 ] 确认相应 ANC Hole 位置和 Z 轴 Offset 。 确认 ANC 槽位置请参照 $6030 的 [ 措施方法 ] 中的 ANC 槽位置确认部分， 确认 相应 磁头的 Z …
1-112
Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Troubleshooting Guide
还有点击<Move>按钮移动到相应ANC 槽位置确认槽的中心是否与设置的位置
一致。另外，利用示教框手动下降Z轴确认ANC槽坐标的Z值是否准确。
在ANC对话框点击<Shutter On/Off>按钮确认闸门是否正常动作。
1-113
MMI
错误码（
Error Code
）和问题解决
$6040 Z轴没有移动到PUT的位置。[FREEZE LEVEL]
[原因]
Z轴为吸嘴的PUT动作下降（DOWN）时发生错误。
[措施 方法]
确认相应ANC Hole位置和Z轴Offset。
确认ANC槽位置请参照$6030的[措施方法]中的ANC槽位置确认部分，确认相应
磁头的Z轴Offset值是否准确设置。
校正Z轴Offset方法请参照”Administrator’s Guide”的 “11.3.6 Head Z / R Offset
Calibration”。
$6050 Z轴进行PUT后，没有移动到安全高度。[FREEZELEVEL]
[原因]
Z轴为吸嘴的PUT动作上升（UP）时发生错误。
[措施 方法]
执行$6040 措施方法。
$6060 因为Head上有吸嘴，不能进行GET。[FREEZELEVEL]
[原因]
将要进行GET时，在Head 上实际有吸嘴的情况。
[
措施 方法]
按”STOP”按钮关闭蜂鸣器。
“按”RESET”按钮把设备转换成”IDLE”方式
1-114
Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Troubleshooting Guide
用手确认该Head上有没有吸嘴。
点击”READY”按钮给设备提供电源。
相应磁头上实际存在吸嘴，但在ANC菜单的对话框中设置为错误发生磁头上未
贴装吸嘴的状态，则核对’No real motion(Manual)’，再选择错误发生磁头后，选
择该磁头上实际配置吸嘴的ANC 槽，然后点击 <Pick>重新进行ANC设置。
$6070 在Head上有吸嘴。但没有进行 GET。[FREEZE LEVEL]
[原因]
吸嘴进行GET动作后，因为ANC Pocket的中心不对，或设定不适当的高度，实际
在Head上有吸嘴的情况。
未准确执行吸嘴确认的情况。
[措施 方法]
执行$6030措施方法。
$6080 Z轴没有移动到GET的位置。[FREEZE LEVEL]
[原因]
Z轴为吸嘴的GET动作下降（DOWN）时发生错误。
[措施 方法]
执行$6040措施方法。
$6090 Z轴进行GET后，没有移动到安全高度。[FREEZE LEVEL]
[原因]
Z轴为吸嘴的GET动作上升（UP
）时发生错误。