FX-3_Operation_Manual1_Rev00_C.pdf - 第40页
操作手册 Rev00 2- 27 在“基板生产”画面上设置“生产计划数量” ，按下 [ 开始开关]后，即开始生产。 （关于生产画面的详细说明请参见『操作手册Ⅱ』的“ 2-8-2 生产条件画面” ） ① 请点击「支援准备」的 按钮。 ② 输入生产计划数量。 注意 按下[开始开关]后，装置即开始移动。 为避免伤害人身，请绝对不要把手或头部等伸入装置内部。 Step6 执行生产 输入「生产计划数量」 。 点击「确定」按钮。 执行「支援准备」的…
操作手册 Rev00
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＜步骤 2＞ 检查激光弄脏
① 请按下按钮「检查激光弄脏」。
② 显示「检查激光弄脏」画面。
③ 清扫后，请按下按钮 ，确认没有「弄脏」。
通常情况下请勾选「检查全部
Head」。
请按下按钮
发现“弄脏”时，请按照『操
作手册 II』的「第 5 章日常检查」
的说明，清扫激光单元。
确认后，按下按钮「OK」。
操作手册 Rev00
2-
27
在“基板生产”画面上设置“生产计划数量”，按下 [开始开关]后，即开始生产。
（关于生产画面的详细说明请参见『操作手册Ⅱ』的“2-8-2 生产条件画面”）
① 请点击「支援准备」的 按钮。
② 输入生产计划数量。
注意
按下[开始开关]后，装置即开始移动。
为避免伤害人身，请绝对不要把手或头部等伸入装置内部。
Step6
执行生产
输入「生产计划数量」。
点击「确定」按钮。
执行「支援准备」的各项作业
后,显示勾号。
操作手册 Rev00
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③ 请按下[开始开关]。
④ 按一次[停止开关]，进入暂停，显示「暂停」画面。
⑤ 在暂停状态下按一次[停止开关]，则显示「生产信息」画面。
显示
按一次 ，进入暂停状态。
再按一次，显示中断画面。
请按下 。
生产即开始。
停止开关
达到生产计划数量、或按下 [停止开关]时，生产即停止。
开始开关
按一次 ，生产即开始。
开始开关
按 ，生产即中断。
停止开关