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小型化学液用直动式 2·3 通电磁阀 L VM • 接触液体部 ： 低发尘、禁油、无金属 • 隔离结构 ： 通过膜片隔离流体流通区域与电磁线圈驱动区域 • 消耗功率 ： 1.0W 以下 （带节电回路） • 容积变化量 （抽吸容积） ： 0.01 μ L 以下 系列 阀结构 阀形式 使用压力范围 孔口直径 （ mmø ） L VM07 底管配管型 直动式摇臂型 N.C.  75kPa ～ 0.1MPa 0.8 L VM09 直接配管型 …

100%1 / 68
小型轻量
2
通电磁阀
VDW-XF
•
空气
·
纯水适用
•
小型、轻量树脂阀体（
PPS
）
• IP65
•
消耗功率 ：
3W
（标准）、
0.5W
（带节电回路）
系列 阀形式 接管口径 孔口直径（
mmø
）
VDW30/40-XF
N.C.
快速紧固
P7, P8
ø4, ø6, ø8, ø10
1~6
高频
2
通阀
SX10
•
高速响应 ：
ON
时
0.45ms
、±
0.05ms
OFF
时
0.4ms
、±
0.05ms
•
长寿命
50
亿次以上
•
高频率
1200Hz
•
薄型阀宽
9mm
系列 流量 消耗功率（
W
） 最高动作频率（
Hz
）
SX10
50
80
40
10
4
1200
1000
550
350
SX10
100
80
40
10
4
650
550
300
200
SX10
150
80
40
10
4
600
500
250
150
薄型
2
、
3
通电磁阀
SX90/090
•
小型
　全长 ：约
38mm
（
2
通阀）、
54mm
（
3
通阀）
　阀（宽
/
高 ）：
10mm
　重量 ：
10g
（
2
通阀）、
20g
（
3
通阀）
•
大流量
　
C
［
dm3/
（
s · bar
）］ ：
0.25
（
2
通阀）、
0.5
（
3
通阀）
　流量［
L/min
（
ANR
）］ ：
45
（
2
通阀）、
90
（
3
通 阀 ）　（
0.2MPa
时）
系列 阀结构
C
［
dm
3
/
（
s·bar
）］
流 量［
L/min
（
ANR
）］
0.2MPa
切换方向
SX91
2
通
直动式座阀
0.25 45
通电时开型
SX92
2
通
直动式座阀
0.12 22
共通型
SX090
3
通
直动式座阀
0.5 90
共通型
干燥空气用先导式
2
通电磁阀
VQ
•
高频率动作 ：高速响应
7ms
以 下（
VQ20
）、
20ms
以 下（
VQ30
）
•
内置快换管接头，配管便捷。
• DIN
插座式，可对应防尘、防喷流型（
IP65
）。
•
工件的吹飞和吹除（筛选）。
•
集装式型号 ：
VV2Q22, VV2Q32
系列 阀形式 接管口径 孔口直径（
mmø
）
VQ20
N.C. ø6~ø12 3.4
VQ30
N.C. ø6~ø12 4.8
小型
2·3
通电磁阀
流体控制元件
P.48
P.49
6
小型化学液用直动式
2·3
通电磁阀
LVM
•
接触液体部 ：低发尘、禁油、无金属
•
隔离结构 ：
通过膜片隔离流体流通区域与电磁线圈驱动区域
•
消耗功率 ：
1.0W
以下
（带节电回路）
•
容积变化量（抽吸容积）：
0.01
μ
L
以下
系列 阀结构 阀形式 使用压力范围 孔口直径（
mmø
）
LVM07
底管配管型
直动式摇臂型
N.C.
75kPa
～
0.1MPa 0.8
LVM09
直接配管型
底管配管型
N.C.
N.O.
通用
75kPa
～
0.2MPa
1
（直接配管）
1.1
（底座配管）
LVM10
直接配管型
底管配管型
75kPa
～
0.25MPa 1.4
LVM15
直接配管型
底管配管型
75kPa
～
0.25MPa
（最大
0.6MPa
）
1.6
1
（高压型）
LVM20
直接配管型
底管配管型
75kPa
～
0.3MPa
（直接配管型为
0.25MPa
）
2
LVM1
□
直接配管型
底管配管型
直动式座阀型
N.C. 0
～
0.25MPa 1.5
直动式
2·3
通电磁阀
LVMK20/200
•
接触液体部 ：低发尘、禁油、非金属
•
使用流体 ：空气、水、脱离子水（纯水）、稀释液、清洗液
•
隔离结构
　通过隔离密封垫，将电磁线圈驱动部从使用流体区域隔离。
•
简单配管
•
防止液体残留
•
不需要调整流量（进出口流量差
5%
以下）
系列 阀形式 配管方向 接触液体部材质
LVMK
N.C.
共通型
下配管
横配管
阀体：
PPS
密封件：
EPDM, FKM
隔膜阀
高纯度工艺气体用
AZ
•
精密洗净及洁净室安装
•
所有产品实行氦检查
•
符合
SEMI
标准
•
用户使用方便的锻件主体
系列 类型 主体材质 配管连接 配管尺寸
AZ
气控型
SUS316L
面密封接头
管焊接
1/4", 3/8", 1/2
AZ
手动型
1/4", 3/8", 1/2
常闭型高真空电磁阀
XSA
•
最低使用压力 ：
1
×
10
–6
Pa
（
abs
）
•
泄漏量 ：内部
1.3
×
10
–9
Pa·m
3
/s
、外部
1.3
×
10
–11
Pa·m
3
/s
•
面密封接头、卡套式接头、内螺纹（
Rc
、
NPT
）
•
消耗功率 ：最大减少
25%
•
重量 ：最大减轻
18%
　
0.5kg
→
0.41kg
系列 阀形式 使用流体 配管连接方式 配管尺寸
XSA
N.C.
空气
惰性气体
面密封接头
卡套式接头
1/4, 3/8
XSA
N.C.
空气
惰性气体
Rc, NPT
内螺纹
1/8, 1/4, 3/8
小型
2·3
通电磁阀
流体控制元件
P.50
P.53
7
高压
5.0MPa 2·3
通电磁阀
流体控制元件
高压
5.0MPa
先导式
2·3
通电磁阀
&
单向阀
VCH/VCHC
•
寿命
1000
万次
•
采用聚氨酯弹性材料的座阀
•
高压环境下的耐久性提高
系列 阀形式 接管口径 孔口直径（
mmø
）
VCH41
2
通阀
N.C. G3/4, 1 ø16
VCH42
2
通阀
N.O. G3/4, 1 ø17.5
VCH410
3
通阀
G1/2~1 ø18
VCHC40
单向阀
G3/4, 1 ø16
高压
6.0MPa
直动式减压阀（溢流型）
VCHR
•
寿命 ：
1000
万次
　聚氨酯弹性材料的座阀，提高在高压环境下的耐久性。
•
导向环（滑动部）使用
NSF-H1
认证品润滑脂。
•
采用间隙密封型溢流阀，耐久性提高。
•
滑动部采用特殊氟树脂密封材。
　放置响应性稳定，不易受压力影响。
系列 型号 种类 连接口径 设定压力（
MPa
）
VCHR VCHR30/40
直动式减压阀
（溢流型）
G3/4, 1, 1 1/2
0.5~5.0
（最高使用压力侧压力
6.0
）
通用流体控制用
2·3
通阀
压缩空气、气液回路控制用
2
通阀
VNA
•
空气压系统和液压回路的控制用。
•
可正向、逆向流动的平衡座阀型。
•
气控型、外部先导电磁型。
系列 阀形式 接管口径 孔口直径（
mmø
）
VNA
N.C./N.O./C.O. 1/8~2 10~50
流体控制用
2
通阀
VNB
•
多种流体对应 ：空气
·
水
·
油
·
气体
·
真空等
•
气控型、外部先导电磁型。
系列 阀形式 接管口径 孔口直径（
mmø
）
VNB
N.C./N.O./C.O.
1/8~2
1 1/4B~2B
7~50
P.54
P.56
P.57
8