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S tage Camera 8-1 第 8 章 . S t age Camera 8.1. St age Camera 所需材料 NO. P ART NO. P ART NAME Q’TY TYPE REMARK 1 J6754004B COVER GLASS 1 J6754004B 1-A J7159160C GLASS PRESS 2 J7159160C 2 J9060075A ST AGE SIDE ILL BOARD ASS’Y…

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4. ShutterOpen状态下,移动Open感知传感器确认传感器良等状态来确认感知范
围。(上端传感器)
Open 感知传感器的感知范围内的左侧末端向右移动1mm 进行组装。
5. 作业完成 ANC 测试时, ANC快门的OpenClose反复执行50次以上,确认
Nozzle顶面有无刮痕。
6. 如果持续发生问题时, 请替换ANC Close/Open Sensor
Stage Camera
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8. Stage Camera
8.1. Stage Camera 所需材料
NO. PART NO. PART NAME Q’TY
TYPE REMARK
1 J6754004B COVER GLASS 1 J6754004B
1-A J7159160C GLASS PRESS 2 J7159160C
2 J9060075A STAGE SIDE ILL BOARD ASS’Y 1 J9060075A
3 J9060074A STAGE OUTER ILL BOARD ASS’Y 1 J9060074A
4 J9060073B STAGE INNER ILL BOARD ASS’Y 1 J9060073B
5 J6751014A CCD CAMERA[VCC-G20E20] 1 VCC-G20E20
6 J9059117A LENS ASS’Y 1 J9059117A
7 J9059118A LENS ASS’Y 1 J9059118A FOV35MM
8 J6739005A LENS ASS’Y 1 B2518-TS FOV45MM
9 J6754004B COVER GLASS 1 J6754004B FOV20MM
Stage Camera是敏感部位,在现场除了Cover Glass其他部件不可替
换。其他的部件禁止在本公司以外的场所进行拆卸组装。
Stage Camera外形与CP45FV/CP45FVNEOStage Camera相似,但C
CD CameraXC-ES50 (SONY),与后者不同。请勿混用两者
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8.2. Stage Camera 服务次序
8.2.1. 必要工具
十字形(+)螺丝刀, 一字形(-)螺丝刀
T Wrench (其他提供工具) or Hex Wrench
8.2.2. Stage Camera 再设置次序
1. 操作示教框,执行设备初始化(Homing)
2. 按设备前面<EMG>按钮,切断电动机电源
3. 检点照明状态时请执行照明诊断对话框。