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ハ ー ド ウェ ア ： ASM ProcessLens ASM ProcessExpert に不可欠な ASM ProcessLens 5D イ ン ラ イ ン SPI シ ス テ ム 。柔軟性の低いピエ ゾ制御 グ リ ッ ド と は異な り 、高精度かつ高速の SPI シ ス テ ムは完全デ ジ タ ル方式で あ り 、 800 万個の個別制御可能なマ イ ク ロ ミ ラ ー を搭載 した プロジ ェ ク タ ーチ ッ プを介 し…
DLP チップ ピエゾ技術を使用したグリッド
各画像の柔軟なパターン バンド 構 造 固定
さまざまなパターンの投影 モ ー ション 機械的なグリッド動作
繰り返し可能 なイメージング モーション精度 エラーリスクのある機械的な動作
高速 モーション速度 低速
振動のない電気的スイッチング 振動 アクチュエーターによる振動
ASM ProcessLens
比較
新製品導入 (NPIs)
経験豊富な専門家でさえ、印刷プロセスを安定させるためには、何度もテスト印刷を実施して、印刷パ
ラメータの最適な組み合わせを決定する必要があります。また、そのような決定ができる専門家は数少
なく、常に対応を依頼できるとは限りません。
ASM ProcessExpert は、データベースに記録されているすべての印刷サイクルの履歴によって、24 時間、
細部まで見逃すことなく動作します。エキスパートシステムは、ターゲットを絞って、印刷パラメータを
変更し、わずか数回の印刷で新製品の最適な設定を特定します。
ユーザーのメリット：立ち上げプロセスが大幅に短縮され、NPI の予測が容易になります。企業は効率
的に納期を守ることができるようになり、最初から高いスループット率を実現することができます。
仮想印刷：DFM HEALTHCHECK
電子機器メーカーや開発者が恐れるシナリオ：新製品のステンシルが納入されたが、その設計や選択
されたプロセスパラメータ（はんだペーストタイプ、ステンシル材料など）が安定した印刷プロセスに
対応していないことが判明。
ASM ProcessExpert が提供するソリューション：仮想印刷機能を備えた DFM HealthCheck （DFM= 製造
容易化設計）。エキスパートシステムのこの機能は、印刷プロセスをステンシルガーバーデータに基づ
いて独自にシミュレーションし、重要なパラメータを明確にしたうえで、プロセスの安定化に適した工程
と印刷パラメータを生産開始前に決定します。
メリット：プロトタイプなどの費用をかけずに、生産開始前にステンシルとプロセスの設計を確認でき
ます。ステンシルのガーバーデータに基づいて、最初から適切なプロセスパラメータを決定し、それに
応じて生産ラインを準備できます。
ASM ProcessLens
超高速かつ高精度な
5D SPI システム
従来の SPI システム
5
ハ ードウェア ： ASM ProcessLens
ASM ProcessExpert に不可欠な ASM ProcessLens 5D インライン SPI システ
ム。柔軟性の低いピエゾ制御グリッドとは異なり、高精度かつ高速の SPI シ
ステムは完全デジタル方式であり、800 万個の個別制御可能なマイクロミラー
を搭載したプロジェクターチップを介して、はんだペーストの状態を柔軟、
正確かつ迅速に計測するために必要なモアレパターン投影を生成します。
その他のメリットとしては、2D/3D の組み合わせによる計測、12.5µm の精
度の X/Y カメラ位置決めシステム、シャドウフリーの計測を実現する複数の
光源、基板反りの 3D オンザフライ補正、非常に強力な画像解析アルゴリズ
ムなどが挙げられます。
結論：ASM ProcessLens は、はんだペーストの位置、高さ、面積、体積、
および基板の反りを従来の SPI システムよりも迅速かつ正確に検出します。
ソフトウェア： ASM ProcessEngine
システムは、ASM ProcessLens によって収集された計測データを関連するあ
らゆる印刷プロセスパラメータと組み合わせ、ASM ProcessEngine のエキス
パートシステムソフトウェアのデータベースに保存します。このソフトウェア
は、印刷サイクルごとに学習し、傾向を認識し、印刷プロセスを常にプロセ
スウィンドウ内で安定させるための修正措置を決定します。ASM
ProcessEngine は、修正措置をアシスト要求として出力したり、手動操作な
しで新しい印刷パラメータを印刷機に直接設定したりすることができます。
SPI からエキスパ ートシステムまで
モジュール構造によって、ASM ProcessExpert は投資効果を
最大にします。まず、ASM ProcessLens を強力な SPI システ
ムとして導入した後で、ASM ProcessEngine ソフトウェアを
追加して、フル機能のエキスパートシステムに拡張すること
ができます。
ASM ProcessExpert
投資効果を最大限にする
モジュラーシステム
ASM ProcessExpert
エキスパートシステム
ASM ProcessLens
SPI
ASM ProcessEngine
ソフトウェア
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ASM ProcessExpert
投資効果を最大限にする
モジュラーシステム
ASM ProcessLens
技術データ
ASM ProcessLens マシンサイズ
全長 – 基板搬送方向 1,130mm
全幅 1,300mm
全高（コンベヤの高さ 950mm） 1,600mm
ASM ProcessLens 搬送
搬送時間 – シングルコンベヤ
搬送時間 – デュアル コンベ ヤ
2.5 秒未満
0 秒
搬送高さ／搬送通信インターフェース SMEMA、IPC-HERMES-9582
ASM ProcessLens 基板サイズ
基板サイズ（L x W）– シングルコンベヤ
基板サイズ（L x W）– デュアルコンベヤ（標準）
基板サイズ（L x W）– デュアルコンベヤ（シングルコンベヤモードの場合）
最小 最大
50mm × 50mm 610mm × 560mm
50mm × 45mm 375mm × 260mm
50mm × 45mm 375mm × 460mm
基板厚さ 0.5mm ∼ 4.5mm
最小エッジクリアランス 3mm
基板最大重量 3kg
基板反り -4.5mm ∼ +4.5mm
ASM ProcessLens 検査能力
画素サイズ
15μm × 15μm
検査速度 最大 30cm
2
/ 秒
高さの解像度
0.37μm
キャリブレーションターゲットの高さの精度
≤ 1μm
X/Y ガ ントリー 精 度
12.5μm （ 3σ）
ASM ProcessLens はんだペースト検査能力
計測 シャドウフリー
はんだペースト測定
体積、面積、高さ、X オフセット、Y オフセット、
形状、ブリッジ、コプラナリティ
最大ペースト高さ
1,000μm
最小ペーストサイズ
90μm × 130μm
ペーストされた基板の Gage R&R << 10%
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