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ASM ProcessExpert 投資効果 を 最大限 に す る モジ ュ ラーシ ステ ム ASM ProcessLens 技 術 デ ータ ASM ProcessLens マ シン サ イズ 全長 – 基板搬送方向 1,130mm 全幅 1,300mm 全高 (コ ンベ ヤの高さ 950mm ) 1,600mm ASM ProcessLens 搬送 搬送時間 – シングル コン ベ ヤ 搬送時間 – デュア ル コ ン ベ ヤ …

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ハ ードウェア : ASM ProcessLens
ASM ProcessExpert に不可欠な ASM ProcessLens 5D インライン SPI システ
ム。柔軟性の低いピエゾ制御グリッドとは異なり、高精度かつ高速の SPI シ
ステムは完全デジタル方式であり、800 万個の個別制御可能なマイクロミラー
を搭載したプロジェクターチップを介して、はんだペーストの状態を柔軟、
正確かつ迅速に計測するために必要なモアレパターン投影を生成します。
その他のメリットとしては、2D/3D の組み合わせによる計測、12.5µm の精
度の X/Y カメラ位置決めシステム、シャドウフリーの計測を実現する複数の
光源、基板反りの 3D オンザフライ補正、非常に強力な画像解析アルゴリズ
ムなどが挙げられます。
結論:ASM ProcessLens は、はんだペーストの位置、高さ、面積、体積、
および基板の反りを従来の SPI システムよりも迅速かつ正確に検出します。
ソフトウェア: ASM ProcessEngine
システムは、ASM ProcessLens によって収集された計測データを関連するあ
らゆる印刷プロセスパラメータと組み合わせ、ASM ProcessEngine のエキス
パートシステムソフトウェアのデータベースに保存します。このソフトウェア
は、印刷サイクルごとに学習し、傾向を認識し、印刷プロセスを常にプロセ
スウィンドウ内で安定させるための修正措置を決定します。ASM
ProcessEngine は、修正措置をアシスト要求として出力したり、手動操作な
しで新しい印刷パラメータを印刷機に直接設定したりすることができます。
SPI からエキスパ ートシステムまで
モジュール構造によって、ASM ProcessExpert は投資効果を
最大にします。まず、ASM ProcessLens を強力な SPI システ
ムとして導入した後で、ASM ProcessEngine ソフトウェアを
追加して、フル機能のエキスパートシステムに拡張すること
ができます。
ASM ProcessExpert
投資効果を最大限にする
モジュラーシステム
ASM ProcessExpert
エキスパートシステム
ASM ProcessLens
SPI
ASM ProcessEngine
ソフトウェア
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ASM ProcessExpert
投資効果を最大限にする
モジュラーシステム
ASM ProcessLens
技術データ
ASM ProcessLens マシンサイズ
全長 – 基板搬送方向 1,130mm
全幅 1,300mm
全高(コンベヤの高さ 950mm) 1,600mm
ASM ProcessLens 搬送
搬送時間 – シングルコンベヤ
搬送時間 – デュアル コンベ ヤ
2.5 秒未満
0 秒
搬送高さ/搬送通信インターフェース SMEMA、IPC-HERMES-9582
ASM ProcessLens 基板サイズ
基板サイズ(L x W)– シングルコンベヤ
基板サイズ(L x W)– デュアルコンベヤ(標準)
基板サイズ(L x W)– デュアルコンベヤ(シングルコンベヤモードの場合)
最小 最大
50mm × 50mm 610mm × 560mm
50mm × 45mm 375mm × 260mm
50mm × 45mm 375mm × 460mm
基板厚さ 0.5mm ∼ 4.5mm
最小エッジクリアランス 3mm
基板最大重量 3kg
基板反り -4.5mm ∼ +4.5mm
ASM ProcessLens 検査能力
画素サイズ
15μm × 15μm
検査速度 最大 30cm
2
/ 秒
高さの解像度
0.37μm
キャリブレーションターゲットの高さの精度
≤ 1μm
X/Y ガ ントリー 精 度
12.5μm ( 3σ)
ASM ProcessLens はんだペースト検査能力
計測 シャドウフリー
はんだペースト測定
体積、面積、高さ、X オフセット、Y オフセット、
形状、ブリッジ、コプラナリティ
最大ペースト高さ
1,000μm
最小ペーストサイズ
90μm × 130μm
ペーストされた基板の Gage R&R << 10%
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Issue 1/04-2019
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Order No: A10011-ASM-A83-JA
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