JX-200维修调整要领书.pdf - 第83页
Rev. 1.1 维修调整要领书 9-7 9-4 ． 真空泵部件的更换（选项） 使用开始 9 个月后基本上应更换下列消耗部件。请参照以下操作顺序进行更换、擦洗。 表 1 的零件全部包含在 40099554 VACUUM PUMP MAINTENANCE KIT 内。 表 1 消耗部件一览（ 40099554 VACCUM_PUMP_MAINTENANCE_KIT ） 检查部位 使用数量 检查内容 检查方法 皮碗式密封件 2 有无异常磨损…
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9-3．真空计的更换（选项）
１） 请确认真空泵未在运行。
２） 请取下护罩 FB。
３） 请从真空计上取下φ６空气管。
４） 旋转真空计背面的树脂部件，卸下真空计。
５） 装配时请按照相反的顺序进行。
面板托架
真空计
树脂固定部件
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9-4．真空泵部件的更换（选项）
使用开始 9 个月后基本上应更换下列消耗部件。请参照以下操作顺序进行更换、擦洗。
表 1 的零件全部包含在 40099554 VACUUM PUMP MAINTENANCE KIT 内。
表 1 消耗部件一览（40099554 VACCUM_PUMP_MAINTENANCE_KIT）
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件
2
有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀
2
有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀
2
有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67
2
有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环 P-10
4
有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈
2
有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶
2
有无裂痕、硬化 目检
需要更换下述时，请另行购买。
・
真空黄油 货号：40119551
在 O 环 P-10 上涂抹黄油。
・
螺钉松动防止剂 NK-4 货号：40119552
在拧紧固定器时（更换碗形密封垫圈、
防止吸气阀碰触胶垫）需要。
○更换准备
1) 请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，
确认泵已经冷却后，
才可开始进行更换、清扫作业。
2) 请拆下主体正面的外罩。
3) 请拆下有调节器的面板盖子。
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4)
连泵
拆下 接真空 的气管①、
线
再拆下 綑(
电线
源、地 )②、
把固定 VAC_PUMP_PLATE③的
六角凹头螺栓 (M4×8)④拆下来。
5) 把真空泵从主体中取出。 (取出时，请注意线綑。)
※ 取下真空泵时，真空泵托架⑤与橡胶薄片⑥有时会粘连。
剥开粘连的橡胶片时，请在操作中不要把手碰到周围的部件。
※ 取下真空泵时请不要手持連接管⑦。
{ 密封垫的更换
1) 取下泵头盖的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2) 取下泵头盖内测的黑色密封垫，共 2 个，更换上新的密封垫。
※ 确认密封垫完全放置在泵头盖的密封垫槽内，请注意泵头盖和支架间不要出现相互咬合
情况。
3) 请将固定泵头盖用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・ m 的力进行对角拧紧。
(在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下参照个部位的更换工程项目)
③
④
⑦
挂钩式
(该托架是固定在主机上的。)
⑥
⑤
泵头盖
内六角螺栓×8
密封垫
泵头护罩的内侧
①
②
(④)