NPM-D多功能生产系统.pdf - 第110页
NPM-D 2012.0416 - 104 - ■ 传送带的外形尺寸 (N-CONL, N-CONR) ( 单位 : mm) ■ 托盘供料器的外形尺寸 ( 单体 ) 1 042 900 +70 -20 基板传送高度 1 350 罩外形 686 332 332 450 传送带宽度 基板传送基准 ( 前侧轨道 ) 基板传送基准 ( 后侧轨道 ) 498 ( 从基板中心 ( ※ 2) ) 896 ( ※ 1) 1 052 985 185 基板…
NPM-D 2012.0416
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■ 调整螺栓的配置图
(
单位
: mm)
操作员侧
223
A
IR
0.5 MPa ～ 0.8 MPa
传送带基准面
电源
825
1359.5 673.5
2 575
421 1 290 444 420
660
820
80 80
139
NPM-D 2012.0416
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■ 传送带的外形尺寸
(N-CONL, N-CONR)
(
单位
: mm)
■ 托盘供料器的外形尺寸
(
单体
)
1 042
900
+70
-20
基板传送高度
1 350
罩外形
686 332 332
450
传送带宽度
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
498
(
从基板中心
(
※
2)
)
896
(
※
1)
1 052
985
185
基板中心
(
※
2)
873
828
480
※
1:
托盘供料器高度
896 mm
，是
NPM-D
的基板搬送高度是
900 mm
时的
标准值，其能够调整范围是
896 mm
。
※
2: 350 mm × 480 mm
尺寸的基板中心
+65
-16.5
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外形尺寸
(
连接时
)
(
单位
: mm)
・ 托盘供料器规格／连接托盘供料器时
・ 托盘供料器规格／连接交换台车时
操作员侧
1 207
864
1 711
1 742
941
2 683
托盘供料器
交换台车
操作员侧
1 207
864
1 711
1 788
941
2728
交换台车
交换台车