RX-7说明书(4).pdf - 第225页
第 4 章 操作篇 4 4-9-5. 搬送输送带操作 触摸［手动操作］菜单 的［搬送输送 带］，显示搬 送输送带画面。 搬送输送带画面 仅在用 户级别为［维护］时 显示。 • 从本机正面看， 基板前 进方向分为从本机右 侧流向左侧的左流动 和向反方向搬 送基板 的右侧流动两种 规格。 本书中介绍最基本 的左流动规格 。 151
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上升台车：触摸［台车上升］。
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下降台车：触摸［台车下降］。
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4-9-5. 搬送输送带操作
触摸［手动操作］菜单的［搬送输送带］，显示搬送输送带画面。
搬送输送带画面仅在用户级别为［维护］时显示。
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从本机正面看，基板前进方向分为从本机右侧流向左侧的左流动和向反方向搬送基板
的右侧流动两种规格。 本书中介绍最基本的左流动规格。
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第 4 章 操作篇
基板有无画面的操作
在搬送输送带画面中，触摸［基板有无］选项卡，显示基板有无画面。
在本画面中，可对基板的搬入，递送，搬出进行操作。
(a) 搬送装置示意图 表示搬送装置的俯视图和基板的当前位置。
用红色（ ）(High (1)) 和黑色（ ） (Low (0)) 显示输送带上
各类传感器的输入状态。
(b) 搬入 将基板从前工序机器搬入到上游装置。
(c) 交付 将基板从上游装置递送到下游装置。
(d) 搬出 将基板从下游装置搬出到后工序机器。
(e) 装置内作业开始 作业员将手伸入装置内作业时触摸。
降下左右台车，解除正面盖子的锁定。
(f) 装置内作业完成 装置内的作业完成时触摸，上升左右台车，锁定正面盖子。
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