SMX-1000 使用说明书（C）.pdf - 第49页

37 6.3. 控制 软件的设 定 控制 软件的设 定 控制 软件的设 定 控制 软件的设 定 PC ON/OFF 6.3.1. 与载物 台有关 的设定 与载 物台有关 的设定 与载 物台有关 的设定 与载 物台有关 的设定 / 6-6 / 6-7 · /

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6
36
X 8 15
X 3 2
X 8 1
1 X X
X
8 ~1 1 ~3 3
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0
1
5
10
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6.3. 控制软件的设定
控制软件的设定控制软件的设定
控制软件的设定
PC ON/OFF
6.3.1. 与载物台有关的设定
与载物台有关的设定与载物台有关的设定
与载物台有关的设定
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6-6
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/
X·Y
X·Y
SID
SID 5.2 2
150mm X X
350mm
350mm 350mm X
6.7
2 2
6-8