NPM-D3A Partlist.pdf - 第167页

Kit Name Rank Q'ty 番号 Part No. キット名 品 番 数量 ﾗﾝｸ 頁 Pag e No. 21 NPM-D3A:プロダクシ ョン モジュラー NPM -D3A:Production M odular キット リスト 製品品番 Model No. 製品名称 Model Name NM - EJM 6E KIT LIST 1 75 N610095857AB MU LTIFUN CTION AL TRAN…

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21
NPM-D3A:プロダクション モジュラー
NPM-D3A:Production Modular
キットレイアウト
製品品番
Model No.
製品名称
Model Name
NM-EJM6E
KIT LAYOUT
--
U41
( KEJM6ES-04-21 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品　　番 数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
No.
21
NPM-D3A:プロダクション モジュラー
NPM-D3A:Production Modular
キットリスト
製品品番
Model No.
製品名称
Model Name
NM-EJM6E
KIT LIST
1
75
N610095857AB
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER
UNIT:NPM
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
O265
1
76
N610102174AA
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
O285
1
77
N610105847AA
SCRAPER
SCRAPER
O287
1
78
N610072046AA
GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10
μm
O289
1
79
N610072047AA
GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
O291
U42
--
( KEJM6ES-04-21 )
22
NPM-D3A:プロダクション モジュラー
NPM-D3A:Production Modular
キットレイアウト
製品品番
Model No.
製品名称
Model Name
NM-EJM6E
KIT LAYOUT
--
U43
( KEJM6ES-04-22 )