5OM-1839-001w_F8S.pdf - 第58页
5OM-1839 1-B 1603-001
5OM-1839
1-A1603-001
1 章
エア配管図および実装図
この章では、エア配管図および実装図を記載しています。
高度な内容を含みますので、参照する場合は、十分ご注意ください。
5OM-1839
1-B1603-001
1-1-1
5OM-1839
1603-001
エア配管図及び実装図
装置全体 ( エア配管図 )
A
エア/真空切替バルブ
P
R
Φ１０（青）
300mm
カッター（２２）
位置決め（２）
カッター（１１）
位置決め（１）
Φ８（青）
2000mm
ヘッド（２１）ヘッド（２１）
排気
ヘッド（１２）ヘッド（１２）
ヘッド（１１） ヘッド（１１）
ヘッド（２２）ヘッド（２２）
Φ8
カッター（２１）
カッター（１２）
カート一括
コネクタ（１）
Φ6
40mm
カート一括
コネクタ（２）
Φ8
40mm
Φ6
40mm
Φ８（青）
720mm
Φ6
770mm
Φ6
400mm
Φ８（青）
400mm
Φ6
70mm
Φ１０（青）
1200mm
Φ6
400mm
Ø8 (青)
400mm
Φ6
2000mm
Φ８（青）
2000mm
Φ6
150mm
Φ6
70mm
Φ6
70mm
Φ８（青）
70mm
Φ6
70mm
Φ6
100mm
Φ6
150mm
Φ6
100mm
Φ6
150mm
ノズルストッカ
（１２）（２２）
ノズルストッカ
（１１）（２１）
Φ8
40mm
Φ6
150mm
Φ8
100mm
Φ8
950mm
Φ8
700mm
Φ8
1830mm
Φ8
1630mm
Φ8
2450mm
搬送
（基板Ｚクランプ、基板ストッパ）
φ6 (青)
1100mm
Φ１０（青）
2050mm
Φ6
2000mm
Φ8
500mm
Φ6
800mm
KQ2P-10
Φ8
200mm
Φ8
3200mm
Φ10
400mm
Φ10
150mm
Φ8
200mm
Φ8
2600mm
Φ8
350mm
Φ10
120mm
A
エア/真空切替バルブ
P
R
仕様２
応差(H_ 1):0.000
設定
0.05MPa
0.45MPa
(Φ6)
設定
仕様２
仕様３
0.35MPa
設定
(Φ6)
(Φ8)
仕様２
A
エア/真空切替バルブ
P
R
A
エア/真空切替バルブ
P
R