5OM-1839-001w_F8S.pdf - 第59页
1-1-1 5OM-1839 1603-001 エア配管図及び実装図 装置全体 ( エア配管図 ) A エア/真空切替バルブ P R Φ10(青) 300mm カッター(22) 位置決め(2) カッター(11) 位置決め(1) Φ8(青) 2000mm ヘッド(21) ヘッド(21) 排気 ヘッド(12) ヘッド(12) ヘッド(11) ヘッド(11) ヘッド(22) ヘッド(22) Φ8 カッター(21) カッター(12) カート一括…

5OM-1839
1-B1603-001

1-1-1
5OM-1839
1603-001
エア配管図及び実装図
装置全体 ( エア配管図 )
A
エア/真空切替バルブ
P
R
Φ10(青)
300mm
カッター(22)
位置決め(2)
カッター(11)
位置決め(1)
Φ8(青)
2000mm
ヘッド(21)ヘッド(21)
排気
ヘッド(12)ヘッド(12)
ヘッド(11) ヘッド(11)
ヘッド(22)ヘッド(22)
Φ8
カッター(21)
カッター(12)
カート一括
コネクタ(1)
Φ6
40mm
カート一括
コネクタ(2)
Φ8
40mm
Φ6
40mm
Φ8(青)
720mm
Φ6
770mm
Φ6
400mm
Φ8(青)
400mm
Φ6
70mm
Φ10(青)
1200mm
Φ6
400mm
Ø8 (青)
400mm
Φ6
2000mm
Φ8(青)
2000mm
Φ6
150mm
Φ6
70mm
Φ6
70mm
Φ8(青)
70mm
Φ6
70mm
Φ6
100mm
Φ6
150mm
Φ6
100mm
Φ6
150mm
ノズルストッカ
(12)(22)
ノズルストッカ
(11)(21)
Φ8
40mm
Φ6
150mm
Φ8
100mm
Φ8
950mm
Φ8
700mm
Φ8
1830mm
Φ8
1630mm
Φ8
2450mm
搬送
(基板Zクランプ、基板ストッパ)
φ6 (青)
1100mm
Φ10(青)
2050mm
Φ6
2000mm
Φ8
500mm
Φ6
800mm
KQ2P-10
Φ8
200mm
Φ8
3200mm
Φ10
400mm
Φ10
150mm
Φ8
200mm
Φ8
2600mm
Φ8
350mm
Φ10
120mm
A
エア/真空切替バルブ
P
R
仕様2
応差(H_ 1):0.000
設定
0.05MPa
0.45MPa
(Φ6)
設定
仕様2
仕様3
0.35MPa
設定
(Φ6)
(Φ8)
仕様2
A
エア/真空切替バルブ
P
R
A
エア/真空切替バルブ
P
R

1-1-2
5OM-1839
1603-001
エア配管図及び実装図
本体 ( エア配管図 )
KQ2L08-99
ホースニップル
KQ2H10-02S
12
12
12
12
12
22
カッター(11)
位置決め(1)
KQ2H06-00
21
KQ2H06-00
21
KQ2H06-00
21
12
12
12
12
12
11
11
11
11
11
11
13
13
13
23
KQ2P-06
仕様4
Φ6
26
KQ2U06-08
21
KQ2U06-08
Φ8
KQ2U08-00
25
KQ2U06-00
24
ヘッド(12)
KQ2U06-00
24
KQ2U08-00
25
KQ2H06-00
21
26
KQ2U06-08
KQ2U06-08
26
7
KQ2H08-00
KQ2T10-08
KQ2U06-08
KQ2U08-00
7
仕様6
仕様7
KQ2H08-00
23
22
25
1
2
26
Φ8
カッター(21)
カッター(12)
カート一括
コネクタ(1)
カッター(21)
位置決め(2)
ヘッド(22)
カート一括
コネクタ(2)
Φ6
40mm
Φ8
40mm
Φ6
40mm
Φ6
100mm
Φ6
150mm
Φ6
100mm
Φ6
150mm
ノズルストッカ
(12)(22)
ノズルストッカ
(11)(21)
Φ8
40mm
Φ8
950mm
Φ8
700mm
Φ8
1830mm
Φ8
1630mm
Φ8
2450mm
搬送
(基板Zクランプ、基板ストッパ)
Φ6
2000mm
Φ6
Φ6
800mm
KQ2P-10
KQ2L08-99
Φ8
200mm
Φ8
3200mm
Φ10
400mm
Φ10
1400mm
Φ10
150mm
Φ8
200mm
Φ8
2600mm
Φ8
350mm
Φ10
120mm
KQ2H06-M5
KQ2L10-02S
KQ2L06-01S
KQ2L08-02S
KQ2L08-02S
KQ2H08-02S
KQ2L10-02S
KQ2L06-02S
KQ2H06-M5
仕様2
応差(H_ 1):0.000
設定
0.05MPa
0.45MPa
(Φ6)
設定
仕様2
仕様3
0.35MPa
設定
(Φ6)
(Φ8)
仕様2