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操作手册 3-25 1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。 有灰尘或异物时，请用气枪去除。 清扫部位 3-3-9 OCC（偏光滤光片） 实施频度： 每周 清扫内容 清扫 OCC（偏光滤光片）的灰尘、异物 使用工具： 气枪 偏光滤光片
操作手册
3-24
1) 「滑动托盘①」上若有芯片或垃圾，会成为吸嘴装卸不畅的原因。
请用抹布沾上酒精进行清扫。
1) 请定期进行送料器台架的清扫。
此外，在安装带式送料器类之前，若发现有芯片等异物，也请用吸尘器进行清扫。
清扫部位
3-3-7 ATC单元
实施频度： 每周
清扫内容 清扫 ATC 的灰尘、异物 使用工具：抹布 推荐溶剂： IPA
清扫部位
3-3-8 送料器台架
实施频度：每周
清扫内容 清扫送料器台架的灰尘、异物 使用工具： 吸尘器
送料器台架
ATC 单元
操作手册
3-25
1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。
有灰尘或异物时，请用气枪去除。
清扫部位
3-3-9 OCC（偏光滤光片）
实施频度： 每周
清扫内容 清扫 OCC（偏光滤光片）的灰尘、异物 使用工具： 气枪
偏光滤光片
操作手册
3-26
1) 检查 VCS 上面（窗口和 LED）有无灰尘等异物，若有脏污，请用干抹布或纱布擦干净。
把 VCS 上面的脏污擦拭干净，LED 的灰尘用气枪吹干净。
清扫部位
3-3-10 VCS单元
实施频度 ： 每周
清扫内容 清扫 VCS 上面 使用工具：抹布 推荐溶剂 ： IPA
使用酒精以外的溶剂（丙酮、信纳水等），会使传感器视窗周围
的树脂部分溶化，切不可使用。
注
意
窗口 LED