3OM-1053-002.pdf - 第260页
*10 *10 *10 *10 *10 カメラ カメラ カメラ カメラ カメラ 3 3 3 3 3 Z(角度)[ ° ] XY テーブル座標系とカメラ 3( 基板認識カメラ)走査座標系と の角度差オフセットデータです。 XY テーブル系に対してカメラ走査線が反時計方向にずれて いるときは“+”になります。 *11 *11 *11 *11 *11 カメラ カメラ カメラ カメラ カメラ 3 3 3 3 3 基板照明 1 ゲイン、基板照明レ…
*8*8
*8*8
*8
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
33
33
3
倍率 X(横)[0.01µm/pixel]、倍率 Y(縦)[0.01µm/pixel]
カメラ 3(基板認識カメラ)の倍率を設定するデータで、1 ピク
セルが何 mm に相当するかを設定します。
X 方向と Y 方向を設定します。
*9*9
*9*9
*9
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
33
33
3
位置 X(横)[mm]、位置 Y(縦)[mm]
XY テーブル基板原点とカメラ 3(基板認識カメラ)中心との距離
設定オフセットで、設計値に対する調整データです。
Fig.3E35-3
0306-006 5-38
AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ
*10*10
*10*10
*10
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
33
33
3
Z(角度)[°]
XY テーブル座標系とカメラ 3(基板認識カメラ)走査座標系と
の角度差オフセットデータです。
XY テーブル系に対してカメラ走査線が反時計方向にずれて
いるときは“+”になります。
*11*11
*11*11
*11
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
33
33
3
基板照明 1 ゲイン、基板照明レベル 1、
基板照明 2 ゲイン、基板照明レベル 2
カメラ 3(基板認識カメラ)の映像信号の明るさを表す画素情報
に変換する際の増幅率の設定を行います。
(a) ゲインの値を小さくするとコントラストが良くなりま
す。
(b) レベルの値を小さくすると全体の明るさが明るくなり
ます。
*12*12
*12*12
*12
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
33
33
3
バッドマーク階調値
バッドマークのコントラストの設定を行います。
*13*13
*13*13
*13
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
33
33
3
バッドマークゲイン、バッドマークレベル
バッドマークの明るさを表す画素情報に変換する際の増幅率
の設定を行います。
(a) ゲインの値を小さくするとコントラストが良くなりま
す。
(b) レベルの値を小さくすると全体の明るさが明るくなりま
す。
0306-006 5-39
AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ
(2)(2)
(2)(2)
(2)
““
““
“
ノノ
ノノ
ノ
ズズ
ズズ
ズ
ルル
ルル
ル
毎毎
毎毎
毎
カカ
カカ
カ
メメ
メメ
メ
ララ
ララ
ラ
11
11
1
ゲインゲイン
ゲインゲイン
ゲイン
//
//
/
レベル”レベル”
レベル”レベル”
レベル”
およびおよび
およびおよび
および
““
““
“
ノノ
ノノ
ノ
ズズ
ズズ
ズ
ルル
ルル
ル
毎毎
毎毎
毎
カカ
カカ
カ
メメ
メメ
メ
ララ
ララ
ラ
22
22
2
ゲインゲイン
ゲインゲイン
ゲイン
//
//
/
レベル”レベル”
レベル”レベル”
レベル”
タブタブ
タブタブ
タブ
••
••
•
シートの表示シートの表示
シートの表示シートの表示
シートの表示
“オフセットデータ”タブシートの[ノズル毎カメラ 1 ゲイン / レベ
ル］タブを押すと、以下のタブシートが表示されます。
“ノズル毎カメラ 2 ゲイン / レベル”タブシートも操作は同
様です。
Fig.3E36 “ノズル毎カメラ 1 ゲイン / レベル”タブシート
••
••
•
シートの構成シートの構成
シートの構成シートの構成
シートの構成
*1*1
*1*1
*1
ヘッドヘッド
ヘッドヘッド
ヘッド
ヘッドの番号が表示されます。
*2*2
*2*2
*2
ノズルノズル
ノズルノズル
ノズル
ノズルの番号が表示されます。
0301-005 5-40 AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ