SPV.pdf - 第326页
34 基板吸着配管 共通部:SPV Board Vacuum Pipin g Common:SPV パーツレイアウト Kit No . キット品番 Kit Name キット名称 MTKA000277AA セクションNo. PARTS LAYOUT Section No. - - O95 ( KMTKA000277AA-00 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
33
真空ポンプ:SPV
Vacuum Pump:SPV
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000276AB
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
1
1 MTKP006871AA
COVER
1
2 MTPB007685AA
PLATE
1
4 MTPB001111AA
COVER
1
5 MTPB001112AB
BRACKET
1
6 MTPB001113AA
BRACKET
1
7 KXFB0056A00
Valve
1
9 N610026797AB Valve:-F4003
PUMP
1
10 MTNP000609AC
S
KHD200-306-G1-KK191
JOINT
2
11 N510066656AA KQ2L12-02AS
ADJUST-BOLT
4
12 MTNK000263AA ADR55-12-150
CABLE-SUPPORT
3
13 N348TA1S8 TA1S8
BOLT
3
14 N510017534AA
SSS 003 Hexagon socket button head screw M4X6-10.9 A2J (Trivalent)
JOINT
1
15 N510066814AA KQ2LE12-00A
SCREW
4
16 N510018285AA
Cross recessed Truss head machine screw M5X10-4.8 A2S (Trivalent)
SILENCER
1
17 N510064385AA AN15-02
NIPPLE
1
18 N510067573AA V6N-02
AIR-FILTER
1
19 MTNP000034AA 03042086020
JOINT
1
20 MTNP000147AA KQ2VD10-02AS
JOINT
1
21 N510066679AA KQ2R04-10A
SENSOR
1
22 MTNS000177AA DP-102Z
WASHER
4
23 N510018507AA
Round finish plain washer 12 10H A2J (Trivalent)
JOINT
1
24 N510066661AA KQ2LF04-01A
BRACKET
1
25 MTNK000401AA MS-DP1-2
O94
-
-
( KMTKA000276AB-00 )
34
基板吸着配管共通部:SPV
Board Vacuum Piping Common:SPV
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000277AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O95
( KMTKA000277AA-00 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
34
基板吸着配管共通部:SPV
Board Vacuum Piping Common:SPV
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000277AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
1
1 MTPB001132AA
JOINT
1
2 N510066688AA KQ2L10-99A
JOINT
1
3 N510066844AA KQ2U08-10A
JOINT
1
4 N510066659AA KQ2U08-00A
JOINT
3
5 N510066675AA KQ2L08-99A
JOINT
3
6 KXF0977AA00 CPS15M-8B
JOINT
3
7 KXF09Y3AA00 CPP15-8B
JOINT
3
8 KXF0DZKRA00 KQ2P-08
O96
--
( KMTKA000277AA-00 )