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Ref No. Remark s R 1 Q'ty 34 基板吸着配管共 通部:SPV Board Vacuum Piping Common:SPV ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品 番 Kit Name キット名称 MTKA000277AA Part Nam e 備 考 セクションNo. PARTS LIST Section No. R 3 BRAC K…
34
基板吸着配管共通部:SPV
Board Vacuum Piping Common:SPV
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000277AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O95
( KMTKA000277AA-00 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
34
基板吸着配管共通部:SPV
Board Vacuum Piping Common:SPV
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000277AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
1
1 MTPB001132AA
JOINT
1
2 N510066688AA KQ2L10-99A
JOINT
1
3 N510066844AA KQ2U08-10A
JOINT
1
4 N510066659AA KQ2U08-00A
JOINT
3
5 N510066675AA KQ2L08-99A
JOINT
3
6 KXF0977AA00 CPS15M-8B
JOINT
3
7 KXF09Y3AA00 CPP15-8B
JOINT
3
8 KXF0DZKRA00 KQ2P-08
O96
--
( KMTKA000277AA-00 )
35
真空ポンプ制御:SPV
Vacuum Pump:SPV
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610165524AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O97
( KN610165524AA-02 )